[发明专利]激光刻线烧蚀修复设备

说明书

技术领域

本发明涉及非晶硅太阳能电池板技术领域，尤其涉及一种对激光刻线后的非晶硅太阳能电池板进行烧蚀修复的设备。

背景技术

非晶硅(a-Si)太阳电池是在玻璃(glass)衬底上沉积透明导电膜(TCO)，然后依次用等离子体反应沉积p型、i型、n型三层a-Si，接着再蒸镀金属电极铝(Al)形成，光从玻璃面入射，电池电流从透明导电膜和铝引出；其还可以用不锈钢片、塑料等作衬底；非晶硅太阳电池的厚度不到1μm，不足晶体硅太阳电池厚度的1/100，这就大大降低了薄膜太阳能电池制造成本，又由于非晶硅太阳电池的制造温度很低(～200℃)，易于实现大面积等优点，使其在薄膜太阳电池中占据首要地位。

在非晶硅太阳能电池板制备过程中每一次的蒸镀(或溅镀，或覆膜)都需要用激光发生器对其进行激光刻线，其中，第一道激光划线，也叫做P1，需要将导电薄膜层划断；第二道激光划线即P2，需要划断硅层，而不能破坏导电薄膜层；第三道激光划线即P3，需要将划背电极及硅层，同样不能破坏导电薄膜层。三道激光划线需要平行度高，避免交叉；需要线宽线距小，以降低死区宽度；同时需要边缘平滑无毛刺，避免未划断造成短路，光斑重叠率要小，以提高加工效率。

但在激光刻线过程中，会有些部分划线没有完全刻断，这些没有刻断的部分将影响非晶硅太阳能电池板的性能，因此，需要利用一种专门的烧结修复设备将激光刻线中没有完全刻断的部分烧断，以提高激光刻线的绝缘电阻；目前，对非晶硅太阳能电池板的导电薄膜的激光刻线进行烧蚀修复的设备，主要采用探针阵列的形式构成烧蚀修复电极，即在电极上设置有与激光刻线的间距相对应的探针阵列，每套探针阵列只能适用于一种间距的激光刻线，当激光刻线间距有变化时，必须更换整套探针阵列，无法灵活应用于不同间距的激光刻线中，另外，电极探针阵列的电路复杂，更换整套探针阵列的成本很高。

因此，有必要提供一种结构简单、可兼容不同激光刻线间距、且成本低的烧蚀修复设备来克服现有技术的不足。

发明内容

本发明的目的在于提供一种结构简单、可兼容不同激光刻线间距、且成本低的激光刻线烧蚀修复设备。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种激光刻线烧蚀修复设备，其包括机架、输入输出对位机构、修复机构及升降移动机构，所述输入输出对位机构设置于所述机架上，所述修复机构设置于所述输入输出对位机构的上方，且所述修复机构与所述升降移动机构连接，所述升降移动机构带动所述修复机构升降或移动，其中，所述修复机构包括呈长条状的连接块，所述连接块的长度方向上等间距地排列有多个电极棒，每一所述电极棒上均设置有至少两对不同间距的探针，所述电极棒上间距相同的所述探针位于同一平面。

较佳地，所述电极棒还包括本体及至少两对间距不同的针套，所述本体的一端连接于所述连接块上，间距不同的每对所述针套依次设置于所述本体的另一端，所述探针可拆卸地安装于其中一对所述针套内；设置不同间距的针套，对电池板进行烧蚀修复时，可根据不同的激光刻线间距而将探针安装于相对应的针套里，可兼容多种不同间距的激光刻线，增加使用的灵活性，且整个机构的强度较好，探针的针头平面不易变形。

较佳地，所述修复机构还包括安装板，多个所述连接块相互平行地设置于所述安装板的一侧面，多个所述连接块上等间距排列的所述电极棒形成阵列，所述安装板的另一侧面与所述升降移动机构连接；多个连接块的设置，使得对电池板进行烧蚀修复时，不需要对修复机构进行频繁地升降及平移，可大大缩短修复工作以为的时间，提高工作效率。

与现有技术相比，由于本发明的激光刻线烧蚀修复设备，其修复机构设置于所述输入输出对位机构的上方且与所述升降移动机构连接，所述升降移动机构带动所述修复机构升降或移动，其中，所述修复机构包括呈长条状的连接块，所述连接块的长度方向上等间距地排列有多个电极棒，每一所述电极棒上均设置有至少两对不同间距的探针，所述电极棒上间距相同的所述探针位于同一平面，这样，在对激光刻线后的非晶硅太阳能电池板进行修复时，根据不同的刻线间距选择使用不同间距的探针，因此可兼容不同间距的激光刻线，以满足不同产能的要求，增加使用的灵活性，同时避免了更换整套探针阵列，从而降低该激光刻线烧蚀修复设备的成本，且该烧蚀修复设备的结构简单。

附图说明

图1是本发明激光刻线烧蚀修复设备的结构示意图。

图2是本发明激光刻线烧蚀修复设备的另一结构示意图。

图3是图1中修复机构的结构示意图。

图4是图3中连接块及电极棒的结构示意图。