[发明专利]一种提升光敏BCB薄膜可靠性的方法

权利要求书

1.一种提升光敏BCB薄膜可靠性的方法，其特征在于，该方法至少包括以下步骤：

1)提供一衬底，在所述衬底表面涂覆一层粘附剂；

2)在所述粘附剂的表面涂覆一层光敏BCB，并光刻所述光敏BCB直至暴露出所述衬底，制备出多个单层光敏BCB单元，形成作为介质层的BCB薄膜。

2.根据权利要求1所述的提升光敏BCB薄膜可靠性的方法，其特征在于，于所述步骤2)中的光敏BCB的层数为一层以上时，包括以下步骤：

2-1)在所述粘附剂的表面涂覆第一层光敏BCB，并光刻所述第一层光敏BCB直至暴露出所述衬底，制备出多个第一层光敏BCB单元；

2-2)依据所述步骤2-1)中制备第一层光敏BCB单元的相同手段，在所述多个第一层光敏BCB单元上制备出多个第二层光敏BCB单元或多个第二层光敏BCB单元至多个第n层光敏BCB单元，形成作为介质层的BCB薄膜。

3.根据权利要求2所述的提升光敏BCB薄膜可靠性的方法，其特征在于：所述第n层光敏BCB单元叠加在第n-1层光敏BCB单元之上，且所述第n层光敏BCB单元的尺寸小于第n-1层光敏BCB单元尺寸。

4.根据权利要求1或2所述的提升光敏BCB薄膜可靠性的方法，其特征在于：各层光敏BCB单元为圆角的多边形结构。

5.根据权利要求1或2所述的提升光敏BCB薄膜可靠性的方法，其特征在于：所述衬底包括硅、陶瓷及玻璃中的至少一种。

6.根据权利要求1或2所述的提升光敏BCB薄膜可靠性的方法，其特征在于：所述步骤2)中的光刻使同层的光敏BCB单元之间形成可供划片道使用的无BCB覆盖的槽。

7.根据权利要求6所述的提升光敏BCB薄膜可靠性的方法，其特征在于：在所述光敏BCB单元上可再制备器件和布线，则在制备各层所述光敏BCB单元时，还包括制备以供各层互连至衬底的通孔的步骤。