[发明专利]气体通道模块及应用其的气体分配装置

权利要求书

1.一种气体通道模块，其特征在于，所述气体通道模块总体为一个长方体，其中，

所述长方体水平方向上具有第一端面和第二端面，第一端面设置有第一长槽，第二端面设置有第二长槽；

所述长方体顶面设置有一主进气孔和多个辅进气孔，长方体主体对应主进气孔和辅进气孔设有第一内部通道和第二内部通道，所述长方体底面设置有多个主出气孔和多个辅出气孔；

所述主进气孔通过第一内部通道与第一长槽相通，所述辅进气孔通过第二内部通道与第二长槽相通。

2.如权利要求1所述的气体通道模块，其特征在于，所述第一长槽与气体通道模块底部通过主出气孔相通，所述第二长槽被隔离成多个独立的辅气长槽，所述多个辅气长槽依次排列，每个辅气长槽与气体通道模块底部通过辅出气孔相通。

3.如权利要求2所述的气体通道模块，其特征在于，所述气体通道模块的第二端面上还设置第三长槽，所述第三长槽通过一第三内部通道与部分辅进气孔相通，所述第三长槽通过一辅助槽与第二长槽中的部分辅气长槽相通。

4.如权利要求1、2或3所述的气体通道模块，其特征在于，所述长方体顶部设置有顶部气槽，部分辅进气孔与顶部气槽连接。

5.一种气体分配装置，其特征在于，所述装置包括一气体通道模块、顶板、第一侧板、第二侧板、U型盖板，所述的气体通道模块采用如权利要求3或4所述的气体通道模块，其中，

所述顶板密封气体通道模块顶面，所述第一侧板密封第一长槽，所述第二侧板密封第二长槽和/或第三长槽。

6.如权利要求5所述的气体分配装置，其特征在于，所述顶板包括注气接头，所述注气接头与所述主进气孔和辅进气孔对应设置。

7.如权利要求5所述的气体分配装置，其特征在于，所述U型盖板安装在气体通道模块的底部，与气体通道模块底部形成混气腔。

8.如权利要求6所述的气体分配装置，其特征在于，所述混气腔内部设置有封板，将混气腔分割为独立的几段。

9.如权利要求6、7或8所述的气体分配装置，其特征在于，所述U型盖板上设置有喷气孔。

10.如权利要求9所述的气体分配装置，其特征在于，所述喷气孔旁还设置有导流板。