[发明专利]单晶及其制造方法

权利要求书

1.一种熔体器具，该熔体器具包括：

坩埚；

向坩埚开放，并沿坩埚的长度延伸的模具；

覆盖所述坩埚和模具的多个热屏蔽体，所述热屏蔽体具有阶梯状的结构。

2.一种熔体器具，该熔体器具包括：

坩埚；

向坩埚开放并沿坩埚长度延伸的模具；

具有被隔离结构互相分隔的下部隔间和上部隔间的后热器。

3.如权利要求2所述的熔体器具，其特征在于，所述隔离结构包括隔离门。

4.如权利要求2所述的熔体器具，其特征在于，所述熔体器具还包括覆盖所述坩埚和模具的多个热屏蔽体，所述热屏蔽体具有阶梯状的结构。

5.如权利要求1或4所述的熔体器具，其特征在于，所述热屏蔽体包括沿沿模具侧面的屏蔽体组，所述屏蔽体组是相对于过模具中点的垂直中轴基本对称的。

6.如权利要求5所述的熔体器具，其特征在于，所述模具的长度不小于约22厘米。

7.如权利要求5所述的熔体器具，其特征在于，所述模具的长度不小于约25厘米。

8.如权利要求1-4中任一项所述的熔体器具，其特征在于，所述熔体器具还包括可调节的梯度调整装置，该装置用来调节沿模具长度的温度梯度，所述可调节的梯度调整装置与所述模具隔开。

9.如权利要求1-4中任一项所述的熔体器具，其特征在于，所述坩埚的长宽比至少为2∶1，所述长宽比定义为坩埚的长度与宽度之比。

10.一种方法，所述方法包括以下步骤：

提供权利要求1-4中任一项所述的熔体器具；

在所述坩埚中提供熔体；以及

从所述模具拉延蓝宝石单晶。

11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，所述蓝宝石单晶的长度＞宽度＞厚度，所述宽度不小于15厘米。

12.如权利要求10所述的方法，其特征在于，所述宽度不小于25厘米。

13.如权利要求10所述的方法，其特征在于，所述宽度不小于28厘米。

14.如权利要求10所述的方法，其特征在于，拉延时，沿模具长度的所述热梯度不大于0.6℃。

15.一种方法，所述方法包括：

提供权利要求3所述的熔体器具；

在所述坩埚中提供熔体；

从所述模具拉延蓝宝石单晶；

将所述蓝宝石单晶从模具向上拉伸，进入后热器；以及

当所述蓝宝石单晶通过所述后热器的下部隔间后关闭所述隔离门。