[发明专利]一种掩模板组件无效
| 申请号： | 201210010722.6 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103205693A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;郑庆靓;孙倩 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C22C38/08 |
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| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 模板 组件 | ||
1.一种掩模板组件，包括掩模板本体和掩模框架，所述掩模板本体在拉伸状态下固定在所述掩模框架上，其特征在于：所述掩模板本体具有与蒸镀基板相同的热膨胀系数。
2.根据权利要求1所述的一种掩模板组件，其特征在于：所述掩模板本体、掩模框架均采用4J36因瓦合金制成。
3.根据权利要求1所述的一种掩模板组件，其特征在于：所述4J36因瓦合金按重量百分比含64%的Fe和36%的Ni。
4.根据权利要求1所述的一种掩模板组件，其特征在于：所述4J36因瓦合金为面心立方结构。
5.根据权利要求1所述的一种掩模板组件，其特征在于：所述掩模板本体与所述掩模框架通过焊接方式固定在一起。
6.根据权利要求5所述的一种掩模板组件，其特征在于：所述掩模板本体与所述掩模框架焊接位置在掩模框架的边框区域。
7.根据权利要求6所述的一种掩模板组件，其特征在于：所述掩模板本体与所述掩模框架焊接位置在掩模框架的边框中心线到掩模框架边框外边界之间的区域。
8.根据权利要求1所述的一种掩模板组件，其特征在于：所述掩模板本体与所述掩模框架通过粘接方式固定在一起。
9.根据权利要求8所述的一种掩模板组件，其特征在于：所述掩模板本体与所述掩模框架粘接位置在掩模框架的边框区域。
10.根据权利要求9所述的一种掩模板组件，其特征在于：所述掩模板本体与所述掩模框架粘接位置在掩模框架的边框中心线到掩模框架边框外边界之间的区域。
11.根据权利要求1所述的一种掩模板组件，其特征在于：所述掩模框架的边框外边界与所述掩模本体的外形线重合。
12.根据权利要求1所述的一种掩模板组件，其特征在于：所述掩模板本体上镀有镍铁合金镀层，所述镍铁合金镀层的均匀性为5%～10%。
13.根据权利要求1所述的一种掩模板组件，其特征在于：所述镍铁合金镀层表面光亮度为一级光亮。
14.根据权利要求1所述的一种掩模板组件，其特征在于：所述掩模板本体厚度在0.05～0.1mm，所述图案开口尺寸为30～180μm。
15.根据权利要求14所述的一种掩模板组件，其特征在于：所述图案开口尺寸为50～100μm。
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