[发明专利]一种磁控溅镀腔室腔壁防镀遮板装置

说明书

所属技术领域

本发明属于一种磁控溅镀腔室腔壁防镀遮板装置，具体涉及镀膜后腔壁清洁，以维持真空环境下镀膜品质。 

背景技术

现有溅镀设备的镀膜腔室为防止溅镀源同时溅镀到腔壁上接采取安装防镀遮板来达到目的，且皆以螺丝固定方式锁固在腔壁上，此举虽可固定牢靠，但对于后续维护防镀遮板造成相当的不便利，若锁固螺丝数量多，会花费相当多的时间在于螺丝的拆卸上。 

发明内容

综上所述，为了克服现有技术不足，本发明的主要目的在于提供一种磁控溅镀腔室腔壁防镀遮板装置。 

为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是： 

一种磁控溅镀腔室腔壁防镀遮板装置，包括两个遮板本体、密接边及下端折边所构成，其中一个遮板本体设有密接边且高于遮板厚度3mm，使两个遮板可接合无间系，同时遮板本体下端设有折边，使遮板本体可放至于腔壁上无需任何螺丝固定，同时为增加遮板本体强度，在其内部设有补强片，增加横向强度。

综上所述本发明结构简单、节省维修时间。 

具体实施方式

    下面结合附图对本发明做进一步说明。 

请参阅图1所示，一种磁控溅镀腔室腔壁防镀遮板装置，其包括遮板本体11及14、密接边12、下端折边13组成，遮板本体11、14，一个遮板本体11设有密接边12，可将两个遮板本体接合且无任何间系，同时设有下端遮板13，可将遮板本体11、14放置在腔壁上，如此可防止溅镀源溅镀在腔壁上。请参阅图2所示，遮板本体11、14内部设有补强板21可加强横向强度使遮板不致于变形。 以上所述实例是对本发明技术方案的说明而非限制，所属技术领域普通技术人员的等同替换或者根据现有技术而做的修改，只要未超出本发明技术方案的思路和范围，均应包含在本发明的权利要求范围之内。 

附图说明

图1系为本发明示意图。 

图2系为本发明结构示意图 

主要元件符号说明

11．．．遮板本体

12．．．密接边

13．．．下端折边

14．．．遮板本体

 21．．．补强板