[发明专利]一种泡生炉取放晶体及原料机构无效
申请号: | 201210010332.9 | 申请日: | 2012-01-13 |
公开(公告)号: | CN102719879A | 公开(公告)日: | 2012-10-10 |
发明(设计)人: | 高超;华伟;陈伟;李艳 | 申请(专利权)人: | 上海赢奔晶体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/20 |
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地址: | 200127 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 泡生炉取放 晶体 原料 机构 | ||
技术领域
本发明涉及一种晶体泡生炉,具体的说是一种泡生炉取放晶体及原料机构。
背景技术
在现有技术中,一般泡生炉都是人工取放原料和晶体。由于生长蓝宝石单晶的原料非常沉重,这样就给人工取放原料和晶体带来麻烦,而且人工取放原料和晶体很容易造成生产失误甚至是生产事故,这样不仅降低了生产效率,而且浪费了资源、减小了良品率还对人身安全造成一定威胁。
发明内容
本发明为了克服现有技术的不足,提供了一种在泡生法生长晶体时便于取放原料及晶体的机构。
为了实现上述目的,本发明设计了一种泡生炉取放晶体及原料机构,包括炉体,坩埚,其特征在于:还包括置于炉体内的保温筒,保温筒内壁上布有加热装置,以及位于炉体内腔顶部的传动轴,传动轴的轴端设有籽晶杆;所述炉体底部设有真空腔体,真空腔体与保温筒的内腔相连通,并在连接处设有阀门,真空腔体的进口设有另一阀门;所述的泡生炉取放晶体及原料机构还包括一个位于炉体底部的三相电动机,三相电动机的输出端设有用于插入炉体内腔的另一传动轴,另一传传动轴的轴端设有托盘支撑坩埚。
所述炉体的底部还设有用于支撑炉体的底盘。
本发明同现有技术相比,能够有效的避免因人工取晶料方式不当而造成的晶体损坏,良品率比人工方式有明显提高。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
参见图1,1为炉体;2为保温筒;3为加热装置;4为传动轴;5为籽晶杆;6为真空腔体;7、8为阀门;9为三相电动机;10为传动轴;11为托盘;12为坩埚;13为底盘;14为籽晶。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步描述。
如图1所示,本发明包括炉体1,坩埚12,还包括置于炉体1内的保温筒2,保温筒2内壁上布有加热装置3,以及位于炉体1内腔顶部的传动轴4,传动轴4的轴端设有籽晶杆5。炉体1底部设有真空腔体6,真空腔体6与保温筒2的内腔相连通,并在连接处设有阀门7,真空腔体6的进口设有另一阀门8。泡生炉取放晶体及原料机构还包括一个位于炉体1底部的三相电动机9,三相电动机9的输出端设有用于插入炉体内腔的传动轴10,传动轴10的轴端设有托盘11支撑坩埚12。炉体1的底部还设有用于支撑炉体的底盘13。
具体工作过程如下:
步骤一:放置原料并利用三相电动机升至炉体内部,具体步骤如下。
A、关闭阀门7,预先在炉体1内形成晶体所需要生长的环境。
B、将配好的原料放入托盘11上的坩埚12内,并打开阀门8。
C、开启三相电动机9,通过传动轴10将坩埚12送至真空腔体6内,随后关闭阀门8。
D、将真空腔体6抽至真空度和炉体1内一致,并打开阀门1,开启三相电动机9将坩埚12送至保温筒2中间,坩埚12内的原料正好与籽晶杆5上的籽晶14接触,原料作用于籽晶14以便晶体生长,随后并关闭阀门7。
步骤二:卸料及取晶过程,具体步骤如下。
A、先关闭阀门8,将真空腔体6抽真空度和炉体1内一致,再打开阀门7。
B、开启三相电动机9,下降坩埚12降至真空腔体6内并关闭阀门7,随后打开阀门8继续下降托盘11,使坩埚12完全离开真空腔体6后进行卸料。
C、打开阀门7和阀门8,将挂有籽晶14的籽晶杆5降至真空腔体6外,取下籽晶14。
本发明同现有技术相比,能够有效的避免因人工取晶料方式不当而造成的晶体损坏,良品率比人工方式有明显提高。
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