[发明专利]压阻式Z轴加速度感测器有效
| 申请号： | 201210005765.5 | 申请日： | 2012-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN103048489A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 黄志伟;张介斌;陈家豪;赵传珍;庄英宗;王是琦;王永和 | 申请（专利权）人： | 立积电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压阻式 加速度 感测器 | ||
1.一种压阻式Z轴加速度感测器，包括：
基板；
多个支撑梁，设置于该基板上；
多个悬臂梁，其中该些悬臂梁分别包括一压电材；以及
质量块，其中，该些悬臂梁分别通过该些支撑梁将该质量块悬浮于该基板上，且该感测器利用该压电材侦测该质量块的位移。
2.如权利要求1所述的压阻式Z轴加速度感测器，该些支撑梁与该些悬臂梁包括一组对称结构的支撑梁及一组对称结构的悬臂梁。
3.如权利要求1所述的压阻式Z轴加速度感测器，该些支撑梁与该些悬臂梁包括两组对称结构的支撑梁及两组对称结构的悬臂梁。
4.如权利要求1所述的压阻式Z轴加速度感测器，该些支撑梁与该些悬臂梁包括一组非对称结构的支撑梁及一组非对称结构的悬臂梁。
5.如权利要求1所述的压阻式Z轴加速度感测器，还包括支撑框，形成于该基板之上并环绕该些悬臂梁、该些压电材与该质量块，而该些支撑梁则整合于该支撑框内。
6.如权利要求5所述的压阻式Z轴加速度感测器，其中该支撑框包括设置于该基板上的绝缘层、多个介电层、多个导电层与保护层，而该些介电层与该些导电层交错地设置于该绝缘层与该保护层之间。
7.如权利要求1所述的压阻式Z轴加速度感测器，其中该压电材包括多晶硅材料。
8.如权利要求1所述的压阻式Z轴加速度感测器，其中该些悬臂梁内的该压电材之间串联地电性连结。
9.如权利要求1所述的压阻式Z轴加速度感测器，其中该质量块包括一个或数个介电层与导电层。
10.如权利要求6所述的压阻式Z轴加速度感测器，其中该支撑框与该些悬臂梁、该些悬臂梁该压电材与该质量块之间定义有一空室。
11.如权利要求1所述的压阻式Z轴加速度感测器，其中该些悬臂梁连结于该质量块的两相邻侧。
12.如权利要求1所述的压阻式Z轴加速度感测器，其中该些悬臂梁连结于该质量块的三侧且两两相邻。
13.如权利要求1所述的压阻式Z轴加速度感测器，其中从上视观之，该质量块具有一长方形轮廓。
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