[发明专利]跨音速物质回收系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种回收系统，特别是涉及一种使物质持续凝结成长，并使物质加速至跨音速以利其回收的物质回收系统。

背景技术

在半导体、光电及太阳光电制作工艺中，时常产生对环境产生污染的废弃物。举例而言，铜铟镓硒(CIGS)太阳能电池在制造过程中，未沉积于基板上的贵重金属原料如铟(In)及硒(Se)为带有剧毒且高价的物质。请参见图1，图1显示传统技术中处理一废弃物1的示意方块图。铜铟镓硒太阳能电池制作工艺中通常针对废弃物1以水洗2的技术进行处理，并将废水排放入环境3当中。然而，此方式将对环境产生了污染，且造成贵重原料的浪费。

为了改善上述缺点，在另一种制作工艺中即以冷凝4的方式取代水洗2，以拦截废弃物1当中的有价物质(例如：Se)，并通过高效滤网5(HighEfficiency Particulate Air，HEPA)对废弃物1进一步进行过滤。此方法虽然可减少环境的污染，并将废弃物1中的有价物质加以回收再利用，但通过冷凝的方式而回收的有价元素的效率较低且管线须时常清理。另一方面，冷凝过程中产生的大量的纳米微粒，也会提高高效滤网5的更换频率并使得生产成本提高。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供用以回收一废气内的物质的跨音速物质回收系统，其利用核凝成长、热胶结、气胶热泳以及绝热膨胀原理使废气中的物质的微粒凝结成长，以提升废弃物中有价物质的回收效率，以降低生产成本并减少污染。本发明可改善冷凝方法中管路堵塞的状况，以提高制作工艺效率。

为达上述目的，本发明提供一种用以回收一废气内的物质的跨音速物质回收系统，包括一收集管、一凝聚装置、一回收腔、一流孔板以及一冲击板材。收集管内部具有一第一压力。凝聚装置连结于收集管，用以使废气内的物质粒径增加。回收腔其内部具有一小于第一压力的第二压力。流孔板包括至少一穿孔连结于收集管与回收腔之间。冲击板材设置于回收腔内并面对流孔板。

在上述实施例中，凝聚装置包括一前段温度控制装置及一扰流装置。前段温度控制装置包覆于收集管的外壁面，且扰流装置设置于收集管内部，用以使废气产生紊流以增加废气中物质的碰撞，而使物质粒径增加。

在上述实施例中，收集管包括一废气入口及一感测装置，废气自废气入口进入收集管，而感测装置则设置于收集管上，用以监测废气的压力与温度。

在上述实施例中，跨音速物质回收系统还包括一后段温度控制装置、一加热器及一容器。后段温度控制装置包覆于回收腔。加热器连结于冲击板材，用以控制冲击板材的温度。容器连结于回收腔，用以容纳回收后的物质。

在上述实施例中，回收腔包括一感测装置，感测装置则设置于回收腔上，用以监测废气的压力与温度。

在上述实施例中，冲击板材至流孔板之间的距离是可变动的，且冲击板材包括一凹槽，自冲击板材的实质中心向下延伸至冲击板材的边缘。流孔板至冲击板材的距离介于2～5.5毫米之间，且流孔板至冲击板材的距离为可调整。

在上述实施例中，跨音速物质回收系统还包括一泵及一过滤装置，泵连结于过滤装置及回收腔之后，用以抽取回收腔内的空气，以产生一小于第一压力的第二压力，其中第一压力可为一大气压力，且第一压力为第二压力的2-5倍或更大。

通过本发明的跨音速物质回收系统，一废气中的物质将于其中持续凝结成长，使得物质冲撞冲击板材时的惯性增加，以增加物质回收的效率。

附图说明

图1为传统技术处理一废弃物的示意方块图本发明的实施例的显示装置的剖面图；

图2为本发明的实施例的跨音速物质回收系统用于处理一废弃物的示意方块图；

图3为本发明的实施例的跨音速物质回收系统的剖面示意图；

图4为本发明的实施例的扰流装置的剖面图；

图5为本发明的实施例的流孔板的示意图；

图6为本发明的实施例的冲击板材的示意图；

图7为废气内的物质的粒径大小于各阶段的分布图；以及

图8为废气通过流孔板前、后的物理特性变化图。

主要元件符号说明

1～废气

2～水洗

3～环境

4～冷凝

5～高效滤网

10～跨音速物质回收系统

100～收集区

110～收集管

111～本体

111a～外壁面

113～废气入口

115～感测装置

130～凝聚装置

131～前段温度控制装置