[发明专利]一种平衡硅片夹持机构

权利要求书

1.一种平衡硅片夹持机构，其特征在于，包括：旋转轴及可在所述旋转轴带动下旋转的卡盘(3)，所述卡盘(3)包括三个夹持臂，其中两个所述夹持臂的端部为固定夹持元件(10)，另一个所述夹持臂的端部为可调夹持件(9)；

所述可调夹持件(9)可相对于与所述卡盘(3)的连接点摆动，用于夹持硅片(2)，其顶端设置有用于与所述硅片(2)表面接触的夹持元件(4)，其底端设置有重量可调的平衡机构。

2.如权利要求1所述的平衡硅片夹持机构，其特征在于，所述平衡机构包括位于所述可调夹持件(9)底部的孔或槽及其内设置的弹簧(5)，所述弹簧(5)的另一端连接有平衡量块(6)，所述孔或槽的开口处设置有塞子(7)。

3.如权利要求2所述的平衡硅片夹持机构，其特征在于，所述塞子(7)在所述孔或槽中的进给量可调。

4.如权利要求1所述的平衡硅片夹持机构，其特征在于，所述可调夹持件(9)夹持臂的端部设置有可调夹持件回止件(8)，所述可调夹持件回止件(8)的端部与竖直状态的所述可调夹持件(9)之间的间距为可调，其用于限制所述可调夹持件(9)的摆动。

5.如权利要求1所述的平衡硅片夹持机构，其特征在于，所述夹持元件(4)竖直状态下用于与所述硅片(2)表面接触的安置面(11)为倾斜向下。

6.如权利要求1所述的平衡硅片夹持机构，其特征在于，所述三个夹持臂之间的夹角互为120°。