[发明专利]双面蚀刻制作金属型太阳能网板的方法

权利要求书

1.一种双面蚀刻制作金属型太阳能网板的方法，其特征在于，其包括以下步骤：

S1：在选定的金属板表面双面均匀的涂抹或压贴一种感光干膜或者其它感光物质；

S2：将作以上处理的金属板两面曝光，将需要的图形转移到感光干膜或者其它感光物质上；

S3：将曝光后的金属板进行显影处理；

S4：将显影处理后的金属板进行双面蚀刻。

2.根据权利要求1所述的双面蚀刻制作金属型太阳能网板的方法，其特征在于，步骤S1中所述选定的金属板可以是不锈钢板、镍板、镍基合金板所有合适的金属型板料。

3.根据权利要求1所述的双面蚀刻制作金属型太阳能网板的方法，其特征在于，所述步骤S1前还包括步骤：将选定的金属板进行前处理，如除油、除锈处理，使得金属表面洁净。

4.根据权利要求1所述的双面蚀刻制作金属型太阳能网板的方法，其特征在于，所述步骤S2所述的曝光转移图形的过程中，金属板两面的图形主体形状相同，且通过曝光机的准确对位，用于确保两面曝光图形的位置一致。

5.根据权利要求1所述的双面蚀刻制作金属型太阳能网板的方法，其特征在于，所述步骤S3中，所述显影过程是将曝光后的金属板进行双面显影，使得两面将要被蚀刻的部分裸露出来，而掩模部分表面被感光物质覆盖。

6.根据权利要求5所述的双面蚀刻制作金属型太阳能网板的方法，其特征在于，显影后两面裸露的图形主体位置相对应，其中一面裸露的部分为连贯型的，且裸露部分构成的图案与太阳能电池电极栅线图案一致；而另外一面裸露的金属面上存在交织的感光物质，裸露的金属面为非连贯型的，非连贯型的裸露金属面构成的图案与太阳能电池电极栅线图案一致。

7.根据权利要求1所述的双面蚀刻制作金属型太阳能网板的方法，其特征在于，步骤S4中，将曝光后的贴膜金属板进行双面蚀刻。

8.根据权利要求7所述的双面蚀刻制作金属型太阳能网板的方法，其特征在于，所述双面蚀刻为同时进行，两面的蚀刻液压力参数可调，用于控制金属板两面的蚀刻速度，其中显影后金属面裸露部分为连贯型的一面在栅线主体处蚀刻为凹槽型，另一面蚀刻为网状型。

9.根据权利要求1所述的双面蚀刻制作金属型太阳能网板的方法，其特征在于，所述太阳能网板由若干条主栅线与若干条细栅线垂直交错构成，网板的厚度为30um~100um，蚀刻凹槽深度占钢片厚度的60%~70%，蚀刻凹槽的细栅线宽度为30um~100um，主栅线宽为1mm~2mm。

10.根据权利要求1所述的双面蚀刻制作金属型太阳能网板的方法，其特征在于，制作好的金属网板还包括后续的退膜清洗、检测及固定在网框上工序。