[发明专利]基板检查系统

说明书

技术领域

本发明涉及用于对在液晶显示器(LCD)、等离子体显示器(PDP)等平板显示器(FPD)的制造中所使用的大型基板进行检查的基板检查系统。

背景技术

以往，在对平板显示器所使用的基板进行的检查中存在如下所述的目视检查(人工宏观检查)：在将基板立起成规定角度的状态下从基板表面侧照射宏观照明光而利用目视根据来自基板的反射光的散射状况来判断缺陷，或者，在将基板垂直地立起的状态下从基板背面侧照射背光(back light)照明光而利用目视根据透射光的散射状况来判断缺陷。另外，存在利用显微镜等微观检查部将基板上的任意部位放大而观察缺陷的微观检查。

不过，随着近年来的平板显示器的大型化，切割为多个平板显示器的母玻璃基板也大型化，例如，出现了1500mm×1800mm以上的大型母玻璃基板。随着该母玻璃的大型化，包括人工宏观检查装置及微观检查装置在内的基板的生产线也大型化。

因此，提出有通过用简单的装置进行人工宏观检查及微观检查而谋求节省空间的技术(例如，参照专利文献1及专利文献2)。这样的用于进行人工宏观检查及微观检查的装置如下这样设置：例如，具有用于使微观检查装置的基板搭载部(基板保持件)立起到作业者侧的驱动部，在使基板搭载部立起的状态下从基板的上方照射宏观照明光而利用目视进行检查。

专利文献1：日本特开2003-344294号公报

专利文献2：日本特开2000-28537号公报

不过，在以往的人工宏观检查过程中，在使保持有基板的基板保持件立起成适于检查者的目视观察的倾斜角度的状态下从基板的上方照射宏观照明光而检测反射光，或者，为了在使基板保持件铅垂地立起的状态下从基板的后方照射背光照明光而检测透射光，基板保持件优选使用仅保持基板的周缘的、中空结构的构件。

但是，使用中空的基板保持件时，在基板中间部的基板保持力较弱，因此，基板易于发生晃动，在进行放大观察的微观检查过程中发生影像晃动等不良情况。因此，在微观检查过程中，优选使用用于水平地保持基板整体的由一张板形成的基板保持件。

这样，用简单的装置进行人工宏观检查和微观检查时，如果优先进行微观检查，则应该选择由一张板形成的基板保持件。使用一张板的基板保持件时，不仅因玻璃基板透明而基板保持件上的划痕等可见而成为误检测的主要原因，而且存在不能进行利用背光照明进行的目视检查这样的问题。

而且，在使用共用的基板保持件进行人工宏观检查和微观检查时，通过使微观检查装置的基板搭载部立起而进行人工宏观检查，因此，不能同时进行人工宏观检查和微观检查，从而也产生检查生产节拍时间变长、进而产生不能提高基板的生产效率这样的问题。

发明内容

本发明的课题在于鉴于上述以往的情况、提供一种不降低生产效率及检查性能就能够谋求节省空间的大型基板用的基板检查系统。

本发明提供一种基板检查系统，其用于用多种检查方法对被检查对象基板进行检查，在该基板检查系统中，包括：自动检查装置，其用于利用摄像部拍摄上述被检查对象基板而进行检查；架台，其具有横跨上述自动检查装置的门型形状的腿部；人工宏观检查装置，其配置在上述架台上，用于直视上述被检查对象基板而进行目视检查；基板输送机器人，其用于对于上述自动检查装置和上述人工宏观检查装置输入、输出上述被检查对象基板，上述人工宏观检查装置借助上述架台独立于上述自动检查装置地配置在上述自动检查装置的上方。

在本发明中，人工宏观检查装置与自动检查装置是相互独立的装置，因此，能够同时进行利用人工宏观检查装置进行的检查和利用自动检查装置进行的检查，不会降低两检查的运转效率，即使将人工宏观检查装置配置在自动检查装置的上方而谋求节省空间，生产效率也不降低。

而且，人工宏观检查装置与自动检查装置能够不使用共用的基板保持部而是使用适于各检查装置的基板保持部，因此，检查性能不降低。

因此，采用本发明，不降低生产效率及检查性能就能够谋求基板检查系统的节省空间。

附图说明

图1是透视地表示本发明的一实施方式的基板检查系统的内部结构的主视图。

图2是表示本发明的一实施方式的基板检查系统的基板输入状态的概略左视图。

图3是透视地表示本发明的其他的实施方式的基板检查系统的内部结构的主视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式的基板检查系统进行说明。

图1是透视地表示本发明的一实施方式的基板检查系统1的内部结构的主视图。