[发明专利]液体喷头及其制造方法

权利要求书

1.一种液体喷头，至少具有：聚合物基底、聚合物振动板、压力腔室和压电元件，其中，所述聚合物振动板与聚合物基底为微注塑一体成型结构，该聚合物振动板上设置有压电元件，该聚合物基底上设有供液腔；所述压力腔室设于聚合物振动板上，并且使聚合物振动板和压电元件位于压力腔室内；所述压力腔室能与供液腔相导通，并具有液体喷孔。

2.根据权利要求1所述的液体喷头，其中，所述聚合物振动板与聚合物基底经微注塑一体成型为悬臂梁结构，并通过该聚合物振动板的活动端与聚合物基底间的供液通道使供液腔与压力腔室相导通。

3.根据权利要求1所述的液体喷头，其中，所述聚合物振动板与聚合物基底经微注塑一体成型为桥式梁结构，该聚合物振动板具有能使供液腔与压力腔室实现导通的供液通道。

4.根据权利要求1-3任一项所述的液体喷头，其中，所述聚合物基底和聚合物振动板是利用主链含炔基的聚碳硅烷材料经注塑而成。

5.根据权利要求1-3任一项所述的液体喷头，其中，所述供液腔为聚合物基底与聚合物振动板微注塑成型时形成。

6.根据权利要求1-3任一项所述的液体喷头，该液体喷头为用于喷墨打印机的压电型喷墨打印头。

7.权利要求1-6任一项所述液体喷头的制造方法，所述方法包括：

将聚合物材料置于微注塑成型机，制成所述聚合物基底与聚合物振动板的一体成型结构，且聚合物基底具有供液腔；

在聚合物振动板上形成压电元件；

在聚合物振动板上形成压力腔室，该压力腔室与供液腔相导通，并使聚合物振动板和压电元件位于该压力腔室内；

在压力腔室上设置喷嘴板，并使该喷嘴板上开设有液体喷孔。

8.根据权利要求7所述的制造方法，其中，采用主链含炔基的聚碳硅烷材料作为微注塑原料，微注塑过程中，控制微注塑成型机的料筒温度135-150℃，微注塑压力为30-100MPa，控制微注塑成型模具的温度200-450℃。

9.根据权利要求7或8所述的制造方法，其中，利用溶胶-凝胶法在聚合物振动板上形成压电元件。

10.根据权利要求7或8所述的制造方法，其中，利用光刻蚀技术在聚合物振动板上形成压力腔室。

11.一种喷墨式记录装置，其中设置有权利要求1-6任一项所述的液体喷头。

12.根据权利要求11所述的喷墨式记录装置，该记录装置为喷墨式打印机。