[发明专利]透光夹持式预对准机无效
| 申请号： | 201210002296.1 | 申请日： | 2012-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN103192463A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 张鹏;李学威;曲道奎;徐方;孙义田;温燕修;何书龙;何伟全 | 申请（专利权）人： | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 透光 夹持 对准 | ||
1.一种透光夹持式预对准机，所述透光夹持式预对准机包括一机座、一装设在所述机座上的卡爪以及一检测所述晶圆上的缺口的传感器，其特征在于：所述卡爪包括至少两个卡爪接触单元、至少两个卡爪臂以及至少两个与所述卡爪接触单元和所述卡爪臂相连接的连接部，所述卡爪接触单元夹持所述晶圆，所述卡爪臂支撑所述晶圆，所述连接部是透光材料制成，所述传感器包括一光线发射端以及一光线接收端，所述光线发射端发射光线以检测所述缺口位置。
2.如权利要求1所述的透光夹持式预对准机，其特征在于：所述透光材料为有机玻璃材料。
3.如权利要求2所述的透光夹持式预对准机，其特征在于：所述传感器为一可透过有机玻璃的透过式激光传感器，并可对光信号的微弱变化进行补偿。
4.如权利要求1所述的透光夹持式预对准机，其特征在于：所述连接部以焊接方式或螺纹连接与所述卡爪接触单元、所述卡爪臂相连接。
5.如权利要求1所述的透光夹持式预对准机，其特征在于：所述卡爪接触单元由透光材料制成。
6.如权利要求1所述的透光夹持式预对准机，其特征在于：所述卡爪臂由透光材料制成。
7.如权利要求1所述的透光夹持式预对准机，其特征在于：所述透光夹持式预对准机还包括一用以支撑所述晶圆的撑托，所述卡爪带动所述晶圆旋转，使所述晶圆的缺口对准预设方向，所述卡爪松开所述晶圆并下降，使所述晶圆落在所述撑托上。
8.如权利要求7所述的透光夹持式预对准机，其特征在于：所述卡爪还包括一卡爪转轴，所述卡爪转轴与所述卡爪臂连接，并将所述卡爪装设在所述机座上，所述卡爪沿所述卡爪转轴上升，将所述晶圆托起使所述晶圆所在平面高于所述撑托，所述卡爪夹持所述晶圆并绕所述卡爪转轴旋转一周，由所述传感器检测出所述晶圆的缺口所在位置。
9.如权利要求1所述的透光夹持式预对准机，其特征在于：所述卡爪接触单元呈一钩状，用以夹持所述晶圆。
10.如权利要求1所述的透光夹持式预对准机，其特征在于：所述卡爪包括三个卡爪接触单元、三个卡爪臂以及三个与所述卡爪接触单元和所述卡爪臂相连接的连接部。
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