[发明专利]大功率激光波前测量仪及波前测量方法

权利要求书

1.一种大功率激光波前测量仪，由光学系统与测量系统组成。其特征在于：所述的光学系统由机械快门(1)、光束取样反射镜(2)、缩束光学系统(3)、透射式衰减器(4)和反射式衰减器(6)组成；所述的测量系统由哈特曼波前分析仪(5)、相位差探测CCD相机(7)和计算机(8)组成；所述机械快门(1)打开时激光束以10°入射角入射至光束取样反射镜(2)，由光束取样反射镜(2)将激光束反射进入缩束光学系统(3)，缩束光学系统(3)将大口径激光束压缩，出射激光束分别由透射式衰减器(4)进入哈特曼波前分析仪(5)进行测量，由反射式衰减器(6)进入相位差探测CCD相机(7)进行测量，计算机(8)控制哈特曼波前分析仪(5)和相位差探测CCD相机(7)的工作；其中光束取样反射镜(2)采用表面不镀膜的熔石英玻璃，为光楔形式，尺寸为165×160mm²，对角线尺寸为230mm，厚度取35mm；缩束光学系统(3)的结构为透射式的开普勒望远镜系统，在望远镜系统的物镜焦点处设置空间滤波器滤除杂散光，物镜选用熔石英玻璃，由两个面组成，其中第一个面为椭球面，第二个面为平面，望远镜系统的光阑设在椭球面上，望远镜系统的目镜选用普通光学玻璃；透射式衰减器(4)由三片透射式楔镜组成；反射式衰减器(6)由三片反射式楔镜组成。

2.基于权利要求1所述大功率激光波前测量仪的波前测量方法，其特征包括如下步骤：

(2.1)测量仪工作时，机械快门(1)只在波前测量时打开，以小于等于1/100秒的速度工作，使测量仪以脉冲方式工作；

(2.2)将相干合成的各路激光器分别打开，用哈特曼波前分析仪(5)对各单路激光波前进行测量分析，同时用相位差探测CCD相机(7)记录各单路激光的光强分布；

(2.3)将一路激光作为基准，依次打开其它各路激光分别与基准激光干涉；

(2.4)用相位差探测CCD相机(7)测出每两路激光相干合成后的光强度，计算得到各路激光相对于基准激光的相位差；同时用哈特曼波前分析仪(5)对两路相干激光合成后的波前进行测量分析。