[发明专利]一种从硅片切割锯屑中回收硅的方法有效

专利信息
申请号: 201210001262.0 申请日: 2012-01-04
公开(公告)号: CN102530948A 公开(公告)日: 2012-07-04
发明(设计)人: 汪雷;谷硕实;李东升;杨德仁;王谊;景超 申请(专利权)人: 浙江大学;镇江大成新能源有限公司
主分类号: C01B33/02 分类号: C01B33/02;C01B31/36
代理公司: 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 代理人: 胡红娟
地址: 310027 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 切割 锯屑 回收 方法
【权利要求书】:

1.一种从硅片切割锯屑中回收硅的方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)将切割锯屑与水混合,调节固液重量比为1∶2~1∶20,加入分散剂,形成悬浮液,对悬浮液进行超声清洗处理、固液分离,得到泥状固含物;

(2)将泥状固含物依次投入到盐酸、硝酸、氢氟酸溶液中,分别调节固液重量比为1∶2~1∶20,酸洗处理,然后漂洗,得到硅和碳化硅的混合物;

(3)将硅和碳化硅的混合物,投入到密度为硅和碳化硅的密度值之间的离心溶剂中,离心分离、净化、干燥,得到硅粉和碳化硅粉。

2.如权利要求1所述的硅片切割锯屑中回收硅的方法,其特征在于,所述的分散剂为乙酸乙酯。

3.如权利要求1所述的硅片切割锯屑中回收硅的方法,其特征在于,所述的超声清洗处理的时间为5~60min。

4.如权利要求1所述的硅片切割锯屑中回收硅的方法,其特征在于,所述的酸洗处理的总时间为15~180min。

5.如权利要求1所述的硅片切割锯屑中回收硅的方法,其特征在于,所述的离心溶剂的密度为2.3g/cm3~3.2g/cm3

6.如权利要求5所述的硅片切割锯屑中回收硅的方法,其特征在于,所述的离心溶剂为三溴甲烷酒精溶液、溴化钙酒精溶液或碘化钙酒精溶液。

7.如权利要求1所述的硅片切割锯屑中回收硅的方法,其特征在于,所述的离心分离的离心条件为:离心加速度为1G~100G,离心分离时间为1~60min。

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