[发明专利]用于激光束扫描的声光偏转器的配置

权利要求书

1.一种方法，包括：

通过第一声光偏转器接收激光束；

通过第一声光偏转器使所接收的激光束沿着第一轴衍射；

通过第二声光偏转器接收经衍射的激光束；以及

通过第二声光偏转器使所接收的经衍射的激光束沿着第二轴衍射。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述第一声光偏转器和所述第二声光偏转器相隔垂直距离；

所述第一声光偏转器沿着所述第一轴取向；以及

所述第二声光偏转器沿着第二轴取向，所述第二轴与所述第一轴垂直。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，通过所述第二声光偏转器衍射的激光束通过放大光学装置折射，以在基板上产生通孔或暴露光致抗蚀剂材料以用于激光直接成像来制造电路。

4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，激光束由一个或多个脉冲构成，所述方法进一步包括：

通过第一声光偏转器接收激光束的脉冲；

通过所述第一声光偏转器使所接收的激光束的脉冲沿着第一轴衍射；

通过第三声光偏转器接收经衍射的激光束的脉冲，所述第三声光偏转器沿着第二轴取向并且与所述第一声光偏转器相隔垂直距离；以及

通过所述第三声光偏转器使所接收的经衍射的激光束的脉冲沿着第二轴衍射，所述第二轴与所述第一轴垂直。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，与在不操作所述第三声光偏转器的情况下操作第二声光偏转器相比，当第二和第三声光偏转器两者都操作时，落到基板上用于产生通孔的激光束的空间范围更大。

6.如权利要求1所述的方法，所述方法进一步包括：

调节第一和第二声光偏转器的电输入来改变第一和第二声光偏转器中的声波频率以控制使激光束偏转的衍射角度，同时避免使用任何机械移动部件来偏转激光束。

7.如权利要求1所述的方法，所述方法进一步包括：

通过激光谐振器产生激光束；

通过孔眼掩模传输由所述激光谐振器产生的激光束；

通过反射镜反射所传输的激光束以使其落到所述第一声光偏转器上；

将基板定位到平面表面上；以及

通过第二声光偏转器的经衍射的激光束在所述基板上钻通孔。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，由所述第一声光偏转器接收的激光束是通过分束器传输的多个激光束中的一个激光束，所述方法进一步包括：

在通过所述第一声光偏转器使所述一个激光束衍射的同时，通过附加的声光偏转器使其他多个激光束沿着所述第一轴衍射。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，由所述第一声光偏转器接收的激光束是通过波束切换装置传输的多个激光束中的一个激光束，所述方法进一步包括：

在通过所述第一声光偏转器使所述一个激光束衍射之后，通过附加的声光偏转器使其他多个激光束逐一沿着所述第一轴衍射。

10.一种系统，包括：

第一声光偏转器，所述第一声光偏转器被配置成接收激光束，并且被配置成使所接收的激光束沿着第一轴衍射；以及

第二声光偏转器，所述第二声光偏转器耦合至所述第一声光偏转器，其中所述第二声光偏转器被配置成接收经衍射的激光束，并且使所接收的经衍射的激光束沿着第二轴衍射。

11.如权利要求10所述的系统，其特征在于：

所述第一声光偏转器和所述第二声光偏转器相隔垂直距离；

所述第一声光偏转器沿着所述第一轴取向；以及

所述第二声光偏转器沿着第二轴取向，所述第二轴垂直于所述第一轴。

12.如权利要求11所述的系统，其特征在于，通过所述第二声光偏转器衍射的激光束通过放大光学装置折射，以在基板上产生通孔或暴露光致抗蚀剂材料以用于激光直接成像来制造电路。