[发明专利]固体激光装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种固体激光装置，其构成为，由多个激励光源对固体激光介质进行激励。

背景技术

现有的固体激光装置构成为，在固体激光装置中设有多个激励组件，并将该激励组件光学地串联配置。在激励组件上分别设有开口部，例如，在激励部为两个的情况下，开口部以彼此方向相反的方式配置，另外，在激励部大于或等于三个的情况下，各开口部以各自的朝向在围绕光轴的圆周上等间隔的方式配置，在各开口部分别设有两个激励光源。由此，使激励强度集中在光轴附近的激励区域，从整体上消除在各激励组件中产生的热应变的影响（例如，专利文献1）。

专利文献1：日本特开平5－335662号公报（段落[0024]至段落[0026]，图6）。

发明内容

在现有的固体激光装置中，仅考虑了以固体激光介质的轴为中心的激励分布的均匀性，而没有考虑固体激光装置整体中的光轴方向的激励分布的对称性，因此，存在无法高效地产生高功率的高品质激光束的问题。

在谐振器的中央附近，沿着激光束光轴排列配置有偶数个激励组件，配置在各激励组件上的激励光源及固体激光介质，以相对于设置在上述偶数个激励组件的中央间隙处的假想对称面呈面对称的方式配置。

发明的效果

由此，能够使固体激光束通过固体激光介质的各激励部时所经受的热透镜及激励分布，相对于假想对称面大致对称。其结果，能够抑制在固体激光束的传播对称性破坏的情况下，特别是激光束为高功率的情况下发生的下述状况，且能够提高高功率的激光束的品质，其中，上述状况是指，固体激光束在通过固体激光介质时受到固体激光介质的热应变的非对称性的影响而变形，从而使光束品质恶化。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式1所涉及的固体激光装置的斜视图。

图2是表示本发明的实施方式1所涉及的固体激光装置的俯视图。

图3表示本发明的实施方式1所涉及的固体激光装置的主要部，（a）为图2中的A－A剖面图，（b）为图2中的B－B剖面图，（c）为图2中的C－C剖面图，（d）为图2中的D－D剖面图，（e）为图2中的E－E剖面图，（f）为图2中的F－F剖面图，（g）为图2中的G－G剖面图，（h）为图2中的H－H剖面图。

图4是用于说明本发明的实施方式1所涉及的固体激光装置的激光束的传播状况的图。

图5是表示本发明的实施例1中的固体激光介质内的激励强度分布的图，（a）是图3（a）的剖面上的激励强度分布，（b）是图3（b）的剖面上的激励强度分布，（c）是图3（c）的剖面上的激励强度分布，（d）是图3（d）的剖面上的激励强度分布，（e）是图3（e）的剖面上的激励强度分布，（f）是图3（f）的剖面上的激励强度分布，（g）是图3（g）的剖面上的激励强度分布，（h）是图3（h）的剖面上的激励强度分布，（a）～（h）分别是从全反射镜13侧观察的图。

图6是表示本发明的实施例1中的固体激光介质内的激励强度分布的图，示出将从图5（a）至（d）的剖面上的激励强度分布叠加而得到的激励强度分布，是从全反射镜13侧观察的图。

图7是表示本发明的实施方式2所涉及的固体激光装置的斜视图。

图8是表示本发明的实施方式3所涉及的固体激光装置的斜视图。

图9是表示本发明的实施方式3所涉及的固体激光装置的俯视图。

图10是表示通过像转印而将本发明的实施方式3中的固体激光介质内的激励强度分布进行合成所得到的激励强度分布的图，（a）是将图9的激励光源21、25的剖面激励强度分布合成后的激励强度分布，（b）是将图9的激励光源22、26的剖面激励强度分布合成后的激励强度分布，（c）是将图9的激励光源23、27的剖面激励强度分布合成后的激励强度分布，（d）是将图9的激励光源24、28的剖面激励强度分布合成后的激励强度分布，（a）～（d）分别是从全反射镜13侧观察的图。

图11是表示本发明的实施方式4所涉及的固体激光装置的俯视图。

图12是表示本发明的实施方式5所涉及的固体激光装置的俯视图。

图13表示本发明的实施方式5所涉及的固体激光装置的主要部，（a）为图12中的A－A剖面图，（b）为图12中的B－B剖面图，（c）为图12中的C－C剖面图，（d）为图12中的D－D剖面图，（e）为图12中的E－E剖面图，（f）为图12中的F－F剖面图，（g）为图12中的G－G剖面图，（h）为图12中的H－H剖面图。