[发明专利]具有多条气体流道的气体流量调节器

权利要求书

1.一种气体流量调节器组件（100），所述气体流量调节器组件（100）包括：

调节器本体（101），所述调节器本体（101）具有被耦合到气体入口端口（115）的腔（150）；

阀组件（109），所述阀组件（109）被耦合到流量阀端口（110），其中所述阀组件控制在所述调节器本体（101）中的气体流量；

压力计组件（107），所述压力计组件（107）被耦合到压力计端口（106）；

流量监控组件，所述流量监控组件监控流过流量监控组件的所述气体的流率并且被耦合到流率端口；

流量监控组件适配器，所述流量监控组件适配器将所述流量监控组件耦合到所述流率端口并且具有通过所述适配器的进入通道；以及

出口端口（113），所述气体通过所述出口端口（113）离开所述调节器本体（101）；

其中所述调节器本体（101）还包括流入通道（141）和流出通道（149），所述流入通道（141）将来自所述气体入口端口（115）的所述气体的至少一些的流量提供给所述流率端口和所述进入通道，所述流出通道（149）将所述流率端口耦合到所述出口端口（113），以使所述气体的所述至少一些流动到所述出口端口（113），并且，

其中所述流出通道（149）的最小截面积大于所述进入通道的最大截面积。

2.一种气体流量调节器本体，所述气体流量调节器本体包括：

调节器本体（101），所述调节器本体（101）具有被耦合到气体入口端口（115）的腔（150）；

流率端口，气体通过所述流率端口流动以测量所述气体的流率；

流量监控组件适配器，所述流量监控组件适配器被耦合到所述流率端口并且具有通过所述适配器的进入通道；以及

出口端口（113），所述气体通过所述出口端口（113）可以离开所述调节器本体（101）；

其中所述调节器本体（101）还包括流入通道（141）和流出通道（149），所述流入通道（141）将来自所述气体入口端口（115）的所述气体的至少一些的流量提供给所述流率端口和所述进入通道，所述流出通道（149）将所述流率端口耦合到所述出口端口（113），以使所述气体的所述至少一些流动到所述出口端口（113），并且，

其中所述流出通道（149）的最小截面积大于所述进入通道的最大截面积。

3.如权利要求1或2所述的气体流量调节器组件或者气体流量调节器本体，其中所述流出通道（149）的所述最小截面积至少比所述进入通道的所述最大截面积大15%。

4.如权利要求1至3之一所述的气体流量调节器组件或者气体流量调节器本体，其中所述流出通道（149）的所述最小截面积比所述进入通道的所述最大截面积大10%至30%。

5.如权利要求1至4之一所述的气体流量调节器组件或者气体流量调节器本体，其中所述流出通道（149）的所述最小截面积和所述流入通道（141）的最小截面积两者都至少比所述进入通道的所述最大截面积大15%。

6.如权利要求1至5之一所述的气体流量调节器组件或者气体流量调节器本体，其中所述流出通道（149）的所述最小截面积和所述流入通道（141）的最小截面积两者都比所述进入通道的所述最大截面积大10%至30%。

7.如权利要求1至6之一所述的气体流量调节器组件或者气体流量调节器本体，其中所述流量监控组件适配器还包括返回通道（145）和返回室（147），所述返回室（147）被耦合到所述流出通道（149）。

8.如权利要求7所述的气体流量调节器组件或者气体流量调节器本体，其中所述流出通道（149）的所述最小截面积和所述返回通道（145）的最小截面积两者都至少比所述进入通道的所述最大截面积大15%。

9.如权利要求7或8所述的气体流量调节器组件或者气体流量调节器本体，其中所述流出通道（149）的所述最小截面积和所述返回通道（145）的最小截面积两者都比所述进入通道的所述最大截面积大10%至30%。