[发明专利]检查工具

权利要求书

1.一种检查工具，其用于将设置于检查基板的检查点与检查该检查基板的检查装置进行电连接，以对设置于该检查基板的配线进行检查，其特征在于，所述检查工具具有：

具有挠性和导电性的触头，其一端与所述检查点导通接触，并且另一端与电连接于所述检查装置的电极部导通接触；

检查侧支承体，其具有将所述触头的一端引导至所述检查点的检查引导孔；

电极侧支承体，其具有将所述触头的另一端引导至所述电极的电极引导孔；

支柱，其使所述检查侧支承体与所述电极侧支承体隔开预定间隔配置并进行保持；以及

电极体，其配置有多个所述电极，并且具有施力单元，该施力单元在非检查时使所述电极侧支承体与所述电极体隔开预定距离并进行保持，

所述触头具有：

棒状的导电性导体部，其具有与所述检查点接触的第一端部和与所述电极部接触的第二端部，且具有挠性；以及

绝缘部，其绝缘覆膜于所述导体部的除了所述第一端部和第二端部以外的外周，

所述第二端部的长度形成为比与所述电极体抵接的所述电极引导孔的深度短。

2.根据权利要求1所述的检查工具，其特征在于，

所述电极侧支承体具有朝向所述电极体延伸的轴部，

所述电极体具有轴承部，所述轴部以能够滑动的方式插入保持于该轴承部。

3.根据权利要求1或2所述的检查工具，其特征在于，

所述施力单元具有：

抵接部件，其具有与所述电极侧支承体的表面抵接的抵接面；以及

施力部，其对所述抵接部件向所述电极侧支承体施力。

4.根据权利要求1所述的检查工具，其特征在于，

设置于所述检查工具的所述施力单元的按压力比设置于该检查工具的所述触头的按压力大。

5.根据权利要求1所述的检查工具，其特征在于，

在所述电极侧支承体与所述电极体之间还具有可动板，所述施力单元具有对所述电极侧支承体与该可动板一同向所述检查侧支承体侧施力的施力部。

6.根据权利要求1所述的检查工具，其特征在于，

在所述电极体的周围还具有可动板，所述施力单元具有对所述电极侧支承体与该可动板一同向所述检查侧支承体侧施力的施力部。