[发明专利]用于测量气体的分子量的方法和设备

权利要求书

1. 一种使用与气体接触的高频平面型压电晶体振荡器来测量气体的分子量的方法，所述方法包括：

a)通过下者而使用所述压电晶体振荡器来测量所述气体的密度：

使用驱动电路来驱动所述压电晶体振荡器，使得所述压电晶体振荡器以单个共振频率共振；以及

测量所述压电晶体的所述单个共振频率，以确定气体的密度；以及

b)根据所述密度、所述气体的确定的或预先确定的压力，以及所述气体的确定的或预先确定的温度来确定所述气体的分子量。

2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括测量所述气体的压力。

3. 根据权利要求2所述的方法，其特征在于，使用电子压力传感器来测量所述气体的压力。

4. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述气体的预先确定的压力是位于所述振荡器上游的气体调节器的固定输出压力。

5. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述气体的预先确定的压力是大气压力。

6. 根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，进一步包括用温度传感器测量所述气体的温度。

7. 一种用于测量气体的分子量的仪器，所述仪器包括：壳体，其具有入口和用于接收待测量的所述气体的内部；传感器组件，其包括高频平面型压电晶体振荡器，所述高频平面型压电晶体振荡器位于所述壳体内，使得在使用中，所述压电晶体振荡器与所述气体接触，所述传感器组件布置成：

驱动所述压电晶体振荡器，使得所述压电晶体振荡器以单个共振频率共振；

测量所述压电晶体振荡器的所述单个共振频率，以确定气体的密度；以及

根据所述密度、所述气体的确定的或预先确定的压力，以及所述气体的确定的或预先确定的温度来确定所述气体的分子量。

8. 根据权利要求7所述的仪器，其特征在于，所述传感器组件包括驱动电路，所述驱动电路包括布置成与共射放大器呈反馈配置的复合晶体管对。

9. 根据权利要求7或8所述的仪器，其特征在于，进一步包括用于测量所述气体的压力的压力传感器。

10. 根据权利要求9所述的仪器，其特征在于，所述压力传感器是电子压力传感器。

11. 根据权利要求7或8所述的仪器，其特征在于，所述仪器位于固定压力调节器的下游，其中，所述气体的压力基于所述固定压力调节器的输出而具有预先确定的值。

12. 根据权利要求7或8所述的仪器，其特征在于，进一步包括在所述入口上游的约束孔和在所述入口下游的通往大气的出口，其中，气体的所述预先确定的压力是大气压力。

13. 根据权利要求7至12中的任一项所述的仪器，其特征在于，所述传感器组件进一步包括温度传感器。

14. 根据前述权利要求中的任一项所述的方法或仪器，其特征在于，所述压电晶体振荡器包括至少两个平叉。

15. 根据前述权利要求中的任一项所述的方法或仪器，其特征在于，所述压电晶体振荡器具有32 kHz或更大的共振频率。

16. 一种能够由可编程处理设备执行的计算机程序产品，包括用于执行根据权利要求1至6中的任一项所述的步骤的一个或多个软件部分。

17. 一种计算机可用的存储介质，其上存储有根据权利要求16所述的计算机程序产品。