[发明专利]带电粒子线装置

权利要求书

1.一种带电粒子线装置，其包括将从带电粒子源放出的一次带电粒子线向试料上扫描的带电粒子光学系统；收纳该带电粒子光学系统的带电粒子光学镜筒；检测由所述扫描得到的反射电子或者二次电子的检测器；至少一个以上的排气泵，其特征在于，

该带电粒子线装置具备：

收纳所述试料，相对于装置设置面支承所述带电粒子线装置整体的第2箱体；

设置在该第2箱体上，支承所述带电粒子光学镜筒的第1箱体；以及

设置在所述第1箱体的底面，使所述一次带电粒子线透射或者通过的薄膜，

在装置动作时，由所述带电粒子光学镜筒、所述第1箱体以及所述薄膜围成的封闭空间内被真空排气，

所述第2箱体向大气开放。

2.一种带电粒子线装置，其包括将从带电粒子源放出的一次带电粒子线向试料上扫描的带电粒子光学系统；收纳该带电粒子光学系统的带电粒子光学镜筒；对由所述扫描得到的反射电子或者二次电子进行检测的检测器；至少一个以上的排气泵，其特征在于，

该带电粒子线装置具备：

配置在所述一次带电粒子线的通过路径上，使所述一次带电粒子线透射或者通过的薄膜；

保持该薄膜的薄膜支承部件；

收纳所述试料，相对于装置设置面支承所述带电粒子线装置整体的第2箱体；以及

配置在该第2箱体上，以隔开一定距离的方式对所述薄膜支承部件以及所述带电粒子光学镜筒进行支承的第1箱体，

在装置动作时，由所述带电粒子光学镜筒、所述薄膜支承部件以及所述第1箱体构成的封闭空间被真空排气，

所述第2箱体向大气开放。

3.一种带电粒子线装置，其包括将从带电粒子源放出的一次带电粒子线向试料上扫描的带电粒子光学系统；收纳该带电粒子光学系统的带电粒子光学镜筒；对由所述扫描得到的反射电子或者二次电子进行检测的检测器；至少一个以上的排气泵，其特征在于，

该带电粒子线装置具备：

使所述一次带电粒子线透射或者透射的薄膜以及保持该薄膜的薄膜支承部件；

收纳所述试料，且内部始终向大气开放的第2箱体；以及

设置在该第2箱体的上部，内部被真空排气的第1箱体，

所述检测器对通过所述薄膜且到达该薄膜的上方的二次电子或者反射电子进行检测。

4.如权利要求2或3所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述带电粒子线装置具备向所述第2箱体内供给气体的气体喷嘴，通过该气体喷嘴向所述第1箱体内供给质量比大气轻的气体。

5.如权利要求4所述的带电粒子线装置，其特征在于，

来自所述气体喷嘴的放出气体包括氢气、氦气、甲烷气体、水蒸气之中的任一种。

6.如权利要求4所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述气体喷嘴安装在所述薄膜支承部件上。

7.如权利要求2或3所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述薄膜支承部件相对于所述第1箱体可装卸。

8.如权利要求2或3所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述第2箱体具备对所述薄膜与所述试料的距离进行测量的测量机构。

9.如权利要求2或3所述的带电粒子线装置，其特征在于，

在所述第2箱体内具备：载置所述试料的试料台；使该试料台向Z方向移动的Z台。

10.如权利要求2或3所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述薄膜或薄膜支承部件具备对所述试料与所述薄膜的距离进行限制的限制部件。

11.如权利要求2或3所述的带电粒子线装置，其特征在于，

至少在所述第2箱体或第1箱体的某一个上，具备对伴随于所述一次带电粒子线的照射而从所述试料放出的离子、带电粒子、光子、X线中的任一种以上进行检测的第2检测器。

12.如权利要求2或3所述的带电粒子线装置，其特征在于，

在所述第1箱体内配备具有对通过所述一次带电粒子线的照射而流入试料的带电粒子或电流进行检测的功能的试料台。