[发明专利]太阳能电池用金属基板和太阳能电池用金属基板的制造方法无效
申请号: | 201180064555.7 | 申请日: | 2011-01-12 |
公开(公告)号: | CN103299433A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 山本晋司;井上良二;渡边启太;石尾雅昭 | 申请(专利权)人: | 株式会社新王材料 |
主分类号: | H01L31/04 | 分类号: | H01L31/04;C23F1/20 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池 金属 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及太阳能电池用金属基板和太阳能电池用金属基板的制造方法,特别涉及具有形成有太阳能电池单元的表面的太阳能电池用金属基板和太阳能电池用金属基板的制造方法。
背景技术
当前,已知有具有形成有太阳能电池单元的表面的太阳能电池用金属基板。这种具有形成有太阳能电池单元的表面的太阳能电池用金属基板例如在日本特公平4-78030号公报和日本特开2009-117783号公报公开。
上述日本特公平4-78030号公报中公开了在不锈钢钢板或冷轧的钢板(第二金属层)的表面上压接有Ni板、Al板或不锈钢钢板中的任一者的(第一金属层)的太阳能电池用金属基板材料。该日本特公平4-78030号公报所记载的太阳能电池用金属基板材料中,在第一金属层的表面上形成有包含非晶硅薄膜(太阳能电池单元)的太阳能电池。另外,日本特公平4-78030号公报所记载的太阳能电池用金属基板材料中,为了抑制由存在于第一金属层内的非金属夹杂物导致非晶硅薄膜形成得不均匀而进行处理,使得存在于第一金属层内的非金属夹杂物的大小为1.0μm以下。
另外,上述日本特开2009-117783号公报公开有一种太阳能电池,其具备:在Ni金属层(第二金属层)的表面上以规定的压力接合(包层)有Al金属层(第一金属层)的金属基板;和形成在Al金属层的表面上的硅薄膜(太阳能电池单元)。该日本特开2009-117783号公报所记载的太阳能电池中,将金属基板浸入由磷酸、冰醋酸和硝酸构成的混合液,对金属基板的表面进行蚀刻之后,在金属基板的表面上形成硅薄膜。其中,在日本特开2009-117783号公报中,关于即将形成硅薄膜之前(蚀刻后)的金属基板的表面的状态并无记载。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特公平4-78030号公报
专利文献2:日本特开2009-117783号公报
发明内容
发明所要解决的课题
然而,认为在上述日本特公平4-78030号公报中公开的太阳能电池用金属基板材料中,即使存在于第一金属层内的金属夹杂物的大小在1.0μm以下,在第一金属层的表面存在以锐角状突出的非金属夹杂物、楔状地凹陷的槽部等的情况下,也容易产生未充分形成非晶硅薄膜的部分(针孔、裂纹和未成膜部等缺陷)。因此,具有因非晶硅薄膜(太阳能电池单元)的缺陷导致的太阳能电池的发电效率容易降低的问题。
另外,认为在上述日本特开2009-117783号公报中公开的太阳能电池中,没有记载蚀刻后的金属基板的表面的状态,因此,在金属基板的表面存在以锐角状突出的异物、楔状地凹陷的槽部等的情况下,容易产生未充分形成硅薄膜的部分(针孔、裂纹和未成膜部等缺陷)。因此,具有因硅薄膜(太阳能电池单元)的缺陷导致的太阳能电池的发电效率容易降低的问题。
本发明是为了解决上述的课题而完成的,本发明的一个目的在于,提供能够抑制因太阳能电池单元的缺陷导致的太阳能电池单元的发电效率降低的太阳能电池用金属基板和太阳能电池用金属基板的制造方法。
用于解决课题的方法
为了达成上述目的,本申请发明人深入探讨的结果,发现通过将作为表示形成有太阳能电池单元的第一表面的表面粗糙度的指标的峭度(kurtosis,尖锐程度)控制在7以下,能够抑制产生未充分形成太阳能电池单元的部分(针孔、裂纹和未成膜部等缺陷)。即,本发明的第一方面的太阳能电池用金属基板,具备覆层材料,该覆层材料包括:第一金属层,其具有形成有太阳能电池单元的第一表面;和第二金属层,其在与第一表面相反一侧的第二表面侧与第一金属层接合,作为表示第一表面的表面粗糙度的指标的峭度(Rku)在7以下。
本发明的第一方面的太阳能电池用金属基板中,如上所述,通过形成有太阳能电池单元的第一表面的峭度(Rku)在7以下,即使在第一金属层的第一表面形成(残留)异物或形成槽部等,从而在第一表面具有凹凸形状的情况下,也由于第一金属层的第一表面以峭度为7以下的状态平缓地形成,所以能够在第一表面上大致均一地形成太阳能电池单元。由此,能够抑制在太阳能电池单元产生针孔、裂纹和未成膜部等缺陷,因此能够抑制因太阳能电池单元的缺陷导致的太阳能电池单元的发电效率降低。其中,在本发明中,第一表面具有的峭度是表示如下的第一金属层的第一表面所具有的峭度的广义概念,该第一表面不仅仅包括由第一金属层构成的第一表面,而且也包括在第一表面上附着有第一金属层以外的异物时的异物的表面。
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