[发明专利]层积结构体以及加工品的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及表面具有微细凹凸结构的层积结构体以及加工品的制造方法。

本申请根据2010年12月27日在日本提出申请的特愿2010-290959号主张优先权，在这里援引其内容。

背景技术

各种显示器、透镜、商店橱窗等的与空气接触的界面(表面)上，存在着因太阳光或照明等在此表面上反射而导致可见性降低的问题。

为了减少反射，例如可以将防反射膜贴附在对象物的表面上。

因此，要求防反射膜的反射率或反射率的波长依赖性低。

作为防反射膜，已知的有通过膜表面的反射光与在膜和对象物的界面上的反射光相互干涉而抵消的方式，使折射率不同的多层膜层积的结构而成的膜。通常，膜的层积数量增加的话，反射率或反射率的波长依赖性倾向于降低。

这些膜，通常通过溅射、蒸镀、以及涂覆等方法制造。但是，这些方法中存在着即使膜的层积数增加，反射率以及反射率的波长依赖性也会降低的限制。此外，为了削减制造成本，减少膜的层积数，需求折射率更低的材料。

为了使材料的折射率下降，使用某些方法将空气导入材料中是有效的，已知作为其中的一个，例如在膜表面形成微细凹凸结构的方法。特别是称之为Moth-Eye结构的微细凹凸结构，因空气的折射率而使材料的折射率连续增大，从而成为一种有效的防反射方法。

作为材料表面上形成微细凹凸结构的方法，有直接加工材料表面的方法、使用具有与微细凹凸结构相对应的倒置结构的铸模，从而转印该结构的转印法等，从生产率、经济性方面出发，后述方法更理想。作为在铸模上形成倒置结构的方法，已知的有电子束光刻法、激光干涉法等，但是，近年来，作为其可以更简便地制造的铸模，受注目的有含有通过阳极氧化形成的微细凹凸结构的氧化铝(例如，参照专利文献1)。专利文献1中，公开了一种防反射膜，其使用了在表面上形成有微孔周期50～300nm的微细凹凸结构的阳极氧化多孔氧化铝作为铸模而制造出。

通常，表面上形成了微细凹凸结构的膜等的成形体中，为了防止污渍附着其表面、维持(保护)微细凹凸结构的形状，在加工工序或出货后至开始使用期间，形成了微细凹凸结构的表面上贴着有保护膜。

但是，如专利文献1中所述，转印阳极氧化多孔氧化铝的表面可见光波长以下的周期微细凹凸结构，从而在表面上形成Moth-Eye结构的微细凹凸结构的成形体，通常，微细凹凸结构相比而言凸部之间的间隔窄，凸部顶端与保护膜的粘合面积较小。因此，相对于凹凸结构的周期比可见光的波长更大的防眩光(AG)结构或棱镜结构，难以将一般所使用保护膜贴附在Moth-Eye结构的微细凹凸结构表面上。即一般的保护膜难以得到充分的粘附力，或者相反粘附力容易过强。

因此，为了容易贴附保护膜，并且贴附的保护膜不会因不小心而剥落，进一步，如果打算将其剥落又可以容易地剥离，有人建议了，表面上形成了具有微细凹凸结构的凹凸部与不具有微细凹凸结构的非凹凸部的成形体的表面上，贴附相对于凹凸部初期粘附强度在0.03N/25mm以下的保护膜的方法(参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2005-156695号公报

专利文献2：日本专利特开2010-107858号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，专利文献2中所述的带保护膜的成形体(层积结构体)，没有考虑通过NC切削等加工成期望的形状这个问题。因此，通过NC切削等加工这样的带保护膜成形体(层积结构体)时，加工中，保护膜会剥落，还明显出现了加工中成形体的位置偏离或者成形体的表面有划痕的问题。

此外，加工两面具有微细凹凸结构的成形体，或加工整个表面都具有微细凹凸结构的成形体时，上述问题变得特别显著。

若要加工中保护膜不会剥落，以使用黏着力强的保护膜为佳，但是，这种情形下，剥离保护膜后，明显出现了保护膜的黏着剂残留在成形体的微细凹凸结构凹部的现象(残胶)。凹部上有残胶的话，容易使成形体的光学性能降低。

特别是，Moth-Eye结构的微细凹凸结构的表面上贴附保护膜时，剥离保护膜之后，凹部容易残留有黏着剂。

本发明以上述情况为鉴而制成，提供了一种加工品的制造方法，在加工表面上具有微细凹凸结构的成形体，具有与其表面接触的保护膜的层积结构体，以及所述层积结构体时，保护膜不会轻易地因不小心而剥落，并且残胶少。

解决课题的手段