[发明专利]汽化器

权利要求书

1.汽化器包括：

成膜用液体材料分散于其中的载体气体所被导入的汽化器主体；和

配置于汽化器主体内的加热器主体，其中：

所述加热器主体被配置依次包括入口部分，圆周部分，和排出部分；且

加热器主体的入口部分的形状为圆锥或多角锥。

2.根据权利要求1所述的汽化器，

其中加热器主体被配置在载体气体的入口部分的延长轴上。

3.根据权利要求1或2所述的汽化器，

其中汽化后气体的排出部分布置于所述负载气体的入口部分的延长轴上。

4.根据权利要求1-3任一所述的汽化器，

其中围绕内部布置有加热器的圆周部分的通道的横截面积为无加热器的通道的横截面积的0.8-1.2倍。

5.根据权利要求1-3任一所述的汽化器，

其中围绕内部配置有加热器的入口部分的圆锥的通道的横截面积为在加热器主体的入口部分无加热器的通道的横截面积的0.8-1.2倍。

6.根据权利要求1-5任一所述的汽化器，

其中含有成膜用液体材料的负载气体以50m/sec-350m/sec的速度范围被导入汽化器主体。

7.根据权利要求1-6任一所述的汽化器，

其中被配置用于冷却载体气体的入口部分的单元被提供。

8.根据权利要求1-7任一所述的汽化器，

其中第二加热器被配置于汽化器主体的排出侧的外围。

9.根据权利要求1-8任一所述的汽化器，

其中在加热器主体的入口部分的圆锥内，圆锥高度/圆锥底部直径为0.5-1的范围。

10.包括根据权利要求1-9任一所述的汽化器的成膜装置。