[发明专利]丝网印刷装置和丝网印刷方法

权利要求书

1.一种丝网印刷装置，所述丝网印刷装置使基板抵靠其中形成有图案孔的掩膜板从而印刷膏剂，所述丝网印刷装置包括：

基板定位单元，所述基板定位单元保持从上游侧运送的基板，并且使基板相对地在水平方向和垂直方向上移动，从而将基板定位在给定位置；

丝网印刷单元，所述丝网印刷单元容许刮板在上面供给有膏剂的掩膜板上滑动，从而通过图案孔在基板上印刷膏剂；

成像单元，所述成像单元具有成像方向分别为向上和向下的两个成像光轴，并且执行使分别在基板和掩膜板上形成的基板识别标记和掩膜识别标记成像的标记成像操作；

成像单元移动机构，所述成像单元移动机构使成像单元关于基板和掩膜板在水平方向上移动；

识别处理单元，所述识别处理单元使标记成像操作中的成像结果受到识别处理，从而进行用于检测基板识别标记和掩膜识别标记的位置的标记识别处理；

光轴校准处理单元，所述光轴校准处理单元通过成像单元使与相对位置相关联的两个参考标记单独地成像，检测分别为两个成像光轴的成像表面的掩膜下表面和基板上表面上的成像光轴的相对位置，并且输出所检测出的相对位置，作为光轴间相对位置数据；

表面校正数据创建处理单元，所述表面校正数据处理单元取得通过成像单元移动机构的成像单元的移动所引起的、在成像表面上产生的成像光轴在水平方向上的位置误差，作为对于基板保持在其上的基板区域和掩膜板安装在其上的掩膜区域以规则排列设置的各参考点特有的在水平方向上的位置误差，并且该输出所取得的位置误差，作为表示在基板区域和掩膜区域的每一表面中局部位置偏差状态的表面校正数据；

基板定位控制单元，所述基板定位控制单元控制成像单元、成像单元移动机构和识别处理单元，从而执行标记成像操作和标记识别处理，并且基于光轴间相对位置数据、表面校正数据和标记识别处理的结果控制基板定位单元，从而执行用于定位基板和掩膜板的基板定位操作；以及

精度评估单元，所述精度评估单元评估基板定位操作的定位精度，

其中丝网印刷装置开始生产之前，对于每一个具有以规则排列设置的参考点的检验基板和检验掩膜，基于光轴间相对位置数据和表面校正数据，精度评估单元校正通过成像单元移动机构的成像单元的移动操作，从而执行标记成像操作、标记识别处理和基板定位操作，所述检验基板和检验掩膜是预先制造的，用于检验基板和掩膜板的定位精度，

其中在基板定位操作之后，基于光轴间相对数据和表面校正数据，精度评估单元校正通过成像单元移动机构的成像单元的移动操作，从而再次执行标记成像操作和标记识别处理，并且基于标记识别处理中的识别结果评估在开始生产之前的状态中的定位精度，

其中在丝网印刷装置开始生产之后，对于工业生产用基板和工业生产用掩膜，基于光轴间相对位置数据和表面校正数据，精度评估单元进一步校正通过成像单元移动机构的成像单元的移动操作，从而执行标记成像操作、标记识别处理和基板定位操作，并且

其中在基板定位操作之后，基于光轴间相对位置数据和表面校正数据，精度评估单元校正通过成像单元移动机构的成像单元的移动操作，从而再次执行标记成像操作和标记识别处理，并且基于标记识别处理中的识别结果评估在开始生产之后的状态中的定位精度。

2.根据权利要求1所述的丝网印刷装置，

其中成像单元这样构成，即将两个具有成像表面定向在相对的垂直方向上的姿态的成像照相机在平面视角上平行布置。