[发明专利]搬运机器人、其基板搬运方法、以及基板搬运中转装置

权利要求书

1.一种搬运机器人，具备：

具有用于分别保持基板的多个保持部的第一手部；

具有用于分别保持基板的多个保持部的第二手部；和

使所述第一手部及所述第二手部分别移动至放置有所述基板的待机位置及彼此不同的多个搬运位置的移动装置。

2.根据权利要求1所述的搬运机器人，其特征在于，所述移动装置形成为在所述第一手部的多个保持部上保持并接收置于所述待机位置上的多个基板，之后，将保持在所述保持部上的所述多个基板对各搬运位置依次转移，同时通过所述第二手部的保持部接收置于所述各搬运位置上的基板的结构。

3.根据权利要求2所述的搬运机器人，其特征在于，所述待机位置是能够使所述多个基板处于待机状态，并且用于在与FOUP之间通过移送机器人传递所述基板的位置；

所述移动装置使所述第一手部及所述第二手部运动而将由所述第二手部的多个保持部保持的所述多个基板放置于所述待机位置上。

4.根据权利要求3所述的搬运机器人，其特征在于，

所述移动装置形成为在一个搬运过程中，向预先规定的N个所述搬运位置分别转移所述基板的结构；

所述第一手部具有所述N以上的所述保持部；

所述第二手部具有所述N以上的所述保持部。

5.根据权利要求4所述的搬运机器人，其特征在于，

所述移动装置形成为一起转动所述第一手部及第二手部的结构；

相对于所述待机位置所述转动方向的一方侧和另一方侧上分别具有N个搬运位置；

所述移动装置形成为以下结构，在第一搬运工序中，从所述待机位置接收N个基板后向所述一方侧转动所述第一手部及第二手部并将所述基板依次分别转移至位于所述一方侧上的所述N个搬运位置上，并且在第二搬运工序中，从所述待机位置接收N个基板后向所述另一方侧转动所述第一手部及第二手部并将所述基板依次分别转移至位于所述另一方侧上的所述N个搬运位置上。

6.根据权利要求4所述的搬运机器人，其特征在于，所述搬运位置的数量N为2。

7.根据权利要求2所述的搬运机器人，其特征在于，所述移动装置形成为使所述第一手部及第二手部运动以通过所述第一手部的所述多个保持部一次保持并接收置于所述待机位置上的多个基板，同时将由所述第二手部的所述多个保持部分别保持的多个基板一次放置在所述待机位置上而进行转移的结构。

8.根据权利要求7所述的搬运机器人，其特征在于，所述移动装置具备使所述第一手部及所述第二手部在各自的延伸方向上独立地进退的进退单元、和使所述第一手部及所述第二手部一起升降的升降单元；

并形成为以下结构，通过所述进退单元使所述第一手部的所述多个保持部分别向放置于所述待机位置上的多个基板的下方行进后，通过所述升降单元使所述第一手部及所述第二手部上升，以此由所述第一手部的所述多个保持部一次保持置于所述待机位置上的多个基板，之后，通过所述进退单元使所述第一手部后退而从所述待机位置接收该多个基板；

通过所述进退单元使所述第二手部的所述多个保持构件向所述待机搬运位置的上方行进后，通过所述升降单元使所述第一手部及所述第二手部下降，以此将由所述保持构件保持的多个基板一次放置在所述待机位置上，之后，通过所述进退单元使所述第二手部后退而将该多个基板转移至所述待机位置上。

9.一种基板搬运方法，是具备：具有用于分别保持基板的多个保持部的第一手部；具有用于分别保持基板的多个保持部的第二手部；和使所述第一手部及所述第二手部分别移动至放置有所述基板的待机位置及彼此不同的多个搬运位置的移动装置的搬运机器人的基板搬运方法，该基板搬运方法具有：

所述移动装置使置于所述待机位置上的多个基板保持在所述第一手部的多个保持部上而接收的接收工序；和

保持工序后，将保持在所述保持部上的所述多个基板对各搬运位置依次转移，同时通过所述第二手部的保持部搬运置于所述各搬运位置上的基板的搬运工序。

10.根据权利要求9所述的基板搬运方法，其特征在于，

所述待机位置是能够使所述多个基板处于待机状态，并且用于在与FOUP之间通过移送机器人传递所述基板的位置；

所述移动装置具有使所述第一手部及所述第二手部运动而将由所述第二手部的多个保持部保持的所述多个基板放置于所述待机位置上的转移工序。