[发明专利]音片型压电振动器以及音叉型压电振动器

说明书

技术领域

本发明涉及压电振动器，特别涉及具有将极化方向在厚度方向上为反向的第1压电体层、第2压电体层进行接合而成的构造的音片型压电振动器以及音叉型压电振动器。

背景技术

近年来，作为数码照相机的手抖防止用传感器或汽车的导航用旋转角速度检测装置，广泛使用振动陀螺仪。作为在这样的振动陀螺仪中使用的振动器，现有技术中使用音叉型压电振动器。

在下述的专利文献1中，公开了在振动陀螺仪中使用的音叉型压电振动器的一例。图16（a）以及（b）是在专利文献1中记载的音叉型压电振动器的俯视图以及底视图。在图16（a）中，虽不是截面，但为了表示电极位置，对电极在倾斜方向上施以由平行的多条曲线构成的阴影。

音叉型压电振动器1001具有一对的脚部1002、1003以及连结脚部1002、1003的一端的基台部1004。即，通过在矩形的压电基板上形成狭缝1005而形成一对的脚部1002、1003。图16（a）中由黑粗线表示的部分是形成于压电基板的上表面的槽1006、1007。

在图16（c）中示出由脚部1002、1003形成的部分的横截面。在音叉型压电振动器1001中，压电基板具有层叠第1压电体层1008、第2压电体层1009的构造。在压电体层1008、1009间形成有内部浮动电极1010。压电体层1008和压电体层1009如图示的箭头所示那样，在厚度方向上反向地进行极化处理。

在压电体层1008的上表面形成有电极1011～1013。电极1011、1013形成于槽1006、1007的外侧区域。电极1012形成于槽1006、1007间的区域。

在音叉型压电振动器1001中，将电极1011、1013作为驱动或检测用电极，将电极1012作为检测或驱动用电极。

在压电振动器1001中，作为驱动或检测用电极的电极1012与未图示的振荡电路连接。由此产生反复进行脚部1002、1003的前端远离的状态、和接近的状态的振动。另外，在使用压电振动器1001作为振动陀螺仪的振动器的情况下，在施以旋转角速度时，脚部1002、1003的振动方向发生变化。通过该变化，在电极1012、1013产生与科里奥利力对应的反相的信号。因此，能检测出旋转角速度。

先行技术文献

专利文献

专利文献1：WO2007/125615

发明的概要

发明要解决的课题

在专利文献1记载的音叉型压电振动器1001中，在压电基板的下表面未形成作为电极的金属膜。为此，由于未在动作时产生应力的部分形成金属膜，因此，能改善温度特性。

但是，在音叉型压电振动器1001中，在压电基板发现压电效应的只有压电体层1008。即，就算具有层叠压电体层1008和压电体层1009的构造，但发现压电效应的部分仅有被电极1011～1013和内部浮动电极1010所夹着的压电体层1008。因此，驱动效率并不充分，例如，在作为旋转角速度的检测用传感器来使用的情况下，难以提高灵敏度。

但是，为了利用基于压电体层1009的压电效应，认为只要在压电体层1009的下表面也设置驱动用电极即可。但是，在音叉型压电振动器1001中，在一对的脚部1002、1003之间强烈要求电极面积相等。在压电体层1009的下表面也形成驱动电极的情况下，即，在设置作为压电体层1008的上表面的驱动用电极的电极1011、和压电体层1009的下表面的驱动用电极的情况下，难以在脚部1002和脚部1003之间谋求驱动用电极的面积的平衡。此外，在音叉型压电振动器1001中，由于电极1011、1012兼用作驱动用电极以及检测用电极，因此，还有难以分别提高驱动效率以及检测灵敏度地配置电极1011～1013的问题。

发明内容

本发明的目的在于，能利用基于多个压电体层的压电效应来提高驱动效率并且能容易地进行电极的设计以及加工、并能提高设计自由度的音片型压电振动器以及音叉型压电振动器。

用于解决课题的手段

本发明所涉及的音片型压电振动器具备：第1压电体层，其在厚度方向上进行了极化处理；第2压电体层，其层叠于所述第1压电体层，在厚度方向上与第1压电体层反向地进行了极化处理；层叠于所述第1压电体层、第2压电体层间，且在所述第1压电体层、第2压电体层间的界面的面方向上分隔开的第1内部驱动电极以及第2内部驱动电极；第1外部电极，其隔着第1压电体层与所述内部驱动电极对置地形成于所述第1压电体层的外表面；和第2外部电极，其隔着第2压电体层与所述内部驱动电极对置地形成于所述第2压电体层的外表面。