[发明专利]耐磨涂层、包含该耐磨涂层的产品以及涂覆该耐磨涂层的方法

权利要求书

1.一种耐磨涂层，包含由三甲基硅烷处理过的涂层。

2.如权利要求1所述的涂层，其特征在于：所述涂层包含已分解的二甲基硅烷组分。

3.如权利要求1所述的涂层，其特征在于：所述涂层包含被氧化的已分解的二甲基硅烷组分。

4.如权利要求3所述的涂层，其特征在于：所述涂层包含功能化的已分解的二甲基硅烷组分。

5.如权利要求1所述的涂层，其特征在于：所述涂层包含一个含有大量且稳定浓度的硅、氧和碳区域。

6.如权利要求1所述的涂层，其特征在于：所述涂层由化学气相沉积法加工而成，该方法包括：

在化学气相沉积法沉积室内准备基材；

在化学气相沉积法沉积室内热分解二甲基硅烷；

在基材表面沉积已分解的二甲基硅烷组分；以及

在有三甲基硅烷存在的情况下，对基材至少一个面进行加热处理。

7.如权利要求6所述的涂层，进一步包括利用氧化剂氧化热分解组分。

8.如权利要求7所述的涂层，其特征在于：所述氧化剂包括空气。

9.如权利要求8所述的涂层，其特征在于：所述空气为零级空气。

10.如权利要求7所述的涂层，其特征在于：所述氧化剂包括氮气。

11.如权利要求7所述的涂层，其特征在于：所述氧化剂包括水。

12.如权利要求7所述的涂层，其特征在于：所述氧化剂包括空气和水。

13.如权利要求1所述的涂层，其特征在于：所述涂层的耐磨度约为13 x 10^-5 mm³/Nm至约0.5 x 10^-5 mm³/Nm。

14.如权利要求1所述的涂层，其特征在于：所述涂层的摩擦系数约为0.58至0.05。

15.一种耐磨涂层，应用于产品的至少一个面以减少产品的表面磨损，其特征在于：所述涂层的耐磨度为13 x 10^-5 mm³/Nm至0.5 x 10^-5 mm³/Nm。

16.一种产品，至少一个面涂覆有耐磨涂层，所述涂层包含由三甲基硅烷处理过的涂层。

17.如权利要求16所述的产品，其特征在于：所述产品与另一产品接触并作往复运动。

18.如权利要求17所述的产品，其特征在于：所述产品为活塞头或活塞筒。

19.如权利要求16所述的产品，其特征在于：所述产品包含一个确定流体流动的流体接触面，其中所述耐磨涂层涂覆于流体接触面上。

20.如权利要求16所述的产品，其特征在于：所述产品为钻孔工具。

21.如权利要求16所述的产品，其特征在于：所述涂层通过化学气相沉积法利用二甲基硅烷的热分解进行涂覆。

22.如权利要求21所述的产品，其特征在于：所述已分解的二甲基硅烷组分在三甲基硅烷处理前被氧化。

23.如权利要求22所述的产品，其特征在于：所述已分解的二甲基硅烷组分被功能化。

24.如权利要求16所述的产品，其特征在于：所述耐磨涂层的厚度为100 nm到10,000 nm。

25.如权利要求16所述的产品，其特征在于：所述耐磨涂层的耐磨度为13 x 10^-5 mm³/Nm到0.5 x 10^-5 mm³/Nm。

26.如权利要求16所述的产品，其其特征在于：所述耐磨涂层的摩擦系数约为0.58至0.05。

27.如权利要求16所述的产品，其特征在于：所述耐磨涂层涂覆于所述产品的移动表面上。

28.如权利要求16所述的产品，其特征在于：所述耐磨涂层涂覆于所述产品的固定表面上。