[发明专利]蒸镀装置和回收装置

说明书

技术领域

本发明涉及能够回收被蒸镀在不需要的部分的蒸镀材料的蒸镀装置和回收装置。

背景技术

近年来，平板显示器在各种商品及领域中得到有效运用，且要求平板显示器进一步的大型化、高画质化、低消耗电力化。

在这种状况下，利用有机材料的场致发光（Electroluminescence：下面，称为“EL”）的具备有机EL元件的有机EL显示装置，作为整体固体型且在低电压驱动、高速响应性、自发光性等方面优异的平板显示器受到高度关注。

有机EL显示装置例如具有以下结构：在由设有TFT（薄膜晶体管）的玻璃基板等构成的基板上，设置有与TFT连接的有机EL元件。

有机EL元件是可以通过低电压直流驱动进行高亮度发光的发光元件，其具有依次层叠有第一电极、有机EL层及第二电极的构造。其中，第一电极与TFT电连接。

另外，作为上述有机EL层，在第一电极与第二电极之间设有层叠有空穴注入层、空穴输送层、电子阻挡层、发光层、空穴阻挡层、电子输送层、电子注入层等的有机层。

在全彩色有机EL显示装置中，通常，具备红（R）、绿（G）、蓝（B）的各种颜色的发光层的有机EL元件作为子像素排列形成于基板上，使用TFT，有选择地使这些有机EL元件以希望亮度发光，由此进行彩色图像显示。

在这样的有机EL显示装置的制造中，包括至少发光为各种颜色的有机发光材料的发光层，在每个作为发光元件的有机EL元件以规定的样式（图案）形成。

作为制造这些有机EL层和第二电极的方法，例如能够应用使用了被称为荫罩（shadow mask）的蒸镀用的掩模的真空蒸镀法、喷墨法、激光转写法等。

其中，现在最一般的是利用真空蒸镀法。在真空蒸镀法中，在高真空下，对放入被称为坩埚或皿（boat）的加热用的器皿的蒸镀材料进行加热并使之升华，在基板上堆积该蒸镀材料的薄膜。

此时，使仅在希望的区域开口的荫罩与基板紧贴，经由该荫罩的开口进行蒸镀，由此，能够仅在希望的区域形成蒸镀膜。

然而，在上述真空蒸镀法的情形中，除堆积在基板上的蒸镀膜以外，全是材料的损失，不形成设置于有机EL显示装置的蒸镀膜。

即，附着在以下部件的蒸镀材料全部浪费：决定是否向在放有蒸镀材料的坩埚等的正上方配置的基板放出蒸镀颗粒的挡板（遮板，shutter）；为了蒸镀装置的腔室内不被蒸镀材料污染而以能够替换的状态设置的防镀板；荫罩的非开口部等。

一般构成第二电极的材料为金属，其材料单价与构成有机EL层的有机材料相比，并不高，但是，构成有机EL层的有机材料是具有导电性、载流子输送性、发光特性、热和电稳定性等的特殊的功能性材料，其材料单价非常贵。

不仅如此，如上所述，除堆积在基板上的有机材料以外，全是材料的损失，因此，进行蒸镀处理的每个基板的材料使用量变多，上述蒸镀处理所花的费用变高，结果导致有机EL显示装置的原价（成本）增大。

作为用于解决这种问题的方法，可以考虑回收附着在基板以外的材料进行再利用的方法。

专利文献1公开了通过再加热和护罩（shroud）内的冷却，在收纳部中取得附着在挡板的蒸镀材料的方法。

另外，专利文献2公开了将附着在挡板的蒸镀材料通过挡板内的加热器加热，使之熔化并落入蒸镀源的方法。

根据这些方法，能够回收再利用附着在挡板的蒸镀材料。

图16是表示专利文献3所记载的真空蒸镀装置200的概略结构。

如图所示，真空蒸镀装置200具有内部为真空的蒸镀室211，沿着蒸镀室211的内壁配置有防镀板216。

在蒸镀室211内的上方位置配置有保持被处理基板220和蒸镀用掩模部件230的基板保持部件219，蒸镀用掩模部件230处于与被处理基板220的被成膜面侧的规定位置重叠的状态。

在蒸镀用掩模部件230，形成有与被处理基板220的蒸镀图案相对应的多个掩模开口部310。

而且，具备能够根据需要切断蒸汽流排出口270的上部的挡板部215。

如图所示，公开如下方法，即，在真空蒸镀装置200中，具备遮断壁271和蒸汽流排出口270的蒸镀材料回收器具217以覆盖蒸汽出口212a的方式配置，在从蒸镀源212朝向被处理基板220的蒸汽流的发散角V1受到控制的状态下进行蒸镀，之后取出蒸镀材料回收器具217，回收再利用堆积在遮断壁271的蒸镀材料。

根据上述结构，减少堆积在被处理基板220之外的蒸镀材料，即通过使该部分附着在蒸镀材料回收器具217的遮断壁271，能够有效回收再利用蒸镀材料。