[发明专利]接触检查用工具

说明书

技术领域

本发明涉及与被检查电子部件的各端子（电极焊盘）或电极接触而用于该被检查电子部件的功能测试的接触检查用工具，特别是涉及适用于使电流供给用以及电压监视用的两根探针与上述各端子或电极接触的开尔文测试的接触用检查工具（测试头）。

背景技术

近来，在金属制的连接端子（电极焊盘）从矩形形状的各边向四个方向延伸的QFP（Quad Flat Package，四侧引脚扁平封装）中，连接端子间的间距以0.8mm、0.65mm、0.5mm、0.4mm而不断处于窄间距化的进行中，并且在被称为外围（peripheral）的矩形形状的硅晶片的外周配置有电极（端子）的半导体制品中，电极间距以100μm、65μm、50μm、40μm而不断处于窄间距化的进行中，所以与上述窄间距化的各端子接触的探针也需要实现细径化。由此，排列有多个该探针的测试头等的接触检查用工具的制造烦琐，并且对于细径化的探针而言，由于对各端子（电极）的接触压力的降低所引起的接触电阻的增大以及探针自身电阻的增大等，而产生测定时的电压下降，从而成为降低电测定的可靠性的原因。

作为与这种测定环境下对应的接触检查，公知有开尔文测试法。在该开尔文测试中，对于一个端子（电极）而将用于供给电流的施加接触探针和用于监视电压的感应接触探针组成一对使用，并能够通过使各端子与这样一对的上述探针接触来实现高精度的电特性的检查。

以往，作为开尔文测试用工具，提出有下述专利文献1。在该专利文献1中，一对探针与形成于绝缘性的插座的柱塞保持孔嵌合，并且一对上述探针的柱塞前端部的两侧面由两个与管轴方向平行的平面构成，并且其前端棱线通过向一个方向倾斜而成，由该棱线的顶点构成的突尖侧的一个侧面由与管外周面的延展面吻合的曲面形成。而且，上述一对的探针的柱塞前端部形成于相对于管中心线偏心的位置，并且以可滑动且无法反转180度插入的方式嵌合插入于上述插座（保持件）的引导孔。

专利文献1：日本特开2010-38837号公报

上述专利文献1记载的一对接触探针以阻止其柱塞前端部误插入为反转位置并且与被检查电子部件的端子接触的突尖侧的一个侧面相互接近的方式配置，从而上述端子的间距能够对应小尺寸的间距。

但是，供上述柱塞前端部嵌合插入的形成于上述插座（保持件）的引导孔与柱塞前端部的剖面形状对应而由近似矩形形状的孔构成，该矩形形状的孔需要通过立铣刀等旋转切削工具或激光进行开孔加工，特别是如专利文献1那样，在由上述前端部嵌合插入用的矩形形状的引导孔和凸缘部以及管嵌合插入用的剖面为圆形的保持孔构成的情况下，需要使用旋转切削工具进行烦琐的加工。

因此，受供柱塞前端部嵌合插入的引导孔制约而限制探针的小型化，并难以充分对应近来的端子的窄间距化以及多极化，并且为了将供上述柱塞前端部嵌合插入的引导孔形成于上述插座而需要烦琐的加工，从而成为成本提高的原因。

此外，如上述专利文献1那样，并不局限用于开尔文测试，通常，引导探针前端的柱塞的引导孔由与柱塞的剖面形状吻合的贯通孔形成。发明内容

因此，本发明的目的在于提供利用形成于插座（块）的引导槽对与被检查用电子部件接触的柱塞前端部以不能旋转且可上下移动的方式进行引导进而解决了上述的课题的接触检查用工具。

例如参照图1～图3，本发明是接触检查用工具（1），其具备与被检查电子部件的端子或电极接触的探针（2）、和保持该探针的插座（3），用于检查上述被检查电子部件的电特性，其特征在于，

上述探针（2）具有柱塞（6），该柱塞（6）以与上述端子或电极弹性接触的方式被施力，

该柱塞具有对其前端部切除了侧面（A、A）而成的板状的引导部（19a）、和突尖状地形成于该引导部的前端的接触部（19b），

上述插座（3）至少具备位于上述端子或电极侧的第一块（10），在该第一块上从其表面形成规定深度的引导槽（13），在该引导槽中，上述柱塞（6）的引导部（19a）止转并以可沿该柱塞的轴向移动且防脱的方式被引导。

例如参照图1～图3，上述探针（2）具有一体固定有上述柱塞（6）的圆筒部（17）的管（5）、可轴向移动地嵌合插入于该管的另一端的抵接部件（7）、以及收纳于上述管并被压缩设置于上述柱塞（6）与上述抵接部件（7）之间的弹簧，

上述插座（3）由多个块（10、11）接合而构成，在这些块上形成有保持上述探针（2）的保持孔（12、15），并且在这些块内的上述第一块（10）上，从其它块（11）侧形成有作为有底孔的上述保持孔（12），并以横穿该有底孔（12）的方式形成有上述引导槽（13）。