[发明专利]用于减小激光划刻的锥度的方法及设备

权利要求书

1.一种减小衬底中的激光划刻的锥度的方法，其包括：

将激光束沿垂直于所述激光束的第一切割方向的第一方向瞄准所述衬底的表面，且使所述激光束相对于从所述衬底的所述表面垂直延伸的线以束倾斜角倾斜；

将所述激光束沿垂直于所述激光束的所述第一切割方向的第二方向瞄准所述衬底的所述表面，且使所述激光束相对于从所述衬底的所述表面垂直延伸的所述线以所述束倾斜角倾斜；及

通过以下操作在所述衬底的所述表面中形成单个划刻线：

在将所述激光束沿所述第一方向瞄准的同时将所述激光束施加到所述衬底的所述表面且沿所述第一切割方向进行切割；及

在将所述激光束沿所述第二方向瞄准的同时将所述激光束施加到所述衬底的所述表面且沿所述第一切割方向及与所述第一切割方向相反的第二切割方向中的一者进行切割。

2.根据权利要求1所述的方法，其中将所述激光束沿所述第一方向瞄准所述衬底的所述表面及将所述激光束沿所述第二方向瞄准所述衬底的所述表面包括在沿所述第一方向的所述束倾斜角与沿所述第二方向的所述束倾斜角之间抖动所述激光束；且其中在所述衬底的所述表面中形成所述单个划刻线包括仅沿所述第一切割方向进行切割。

3.根据权利要求1所述的方法，其中在将所述激光束沿所述第二方向瞄准的同时将所述激光束施加到所述衬底的所述表面且沿所述第一切割方向及与所述第一切割方向相反的第二切割方向中的一者进行切割包括：在将所述激光束沿所述第二方向瞄准的同时将所述激光束施加到所述衬底的所述表面且沿所述第一切割方向进行切割。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述束倾斜角为足以产生所述单个划刻线的大体上垂直侧壁的角。

5.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：

确定所述束倾斜角。

6.根据权利要求5所述的方法，其中确定所述束倾斜角包括：

使用所述激光束在测试衬底的表面中钻出测试划刻线，所述激光束沿从所述测试衬底的所述表面垂直延伸的线瞄准；

测量所述测试划刻线的侧壁的锥度角；及

使用所述锥度角作为所述束倾斜角来处理所述衬底。

7.根据权利要求6所述的方法，其进一步包括：

在将所述激光束沿所述第一方向或所述第二方向中的至少一者瞄准且使所述激光束相对于从所述测试衬底的所述表面垂直延伸的所述线以所述锥度角倾斜的同时在所述测试衬底的所述表面中切割第二切口线；及

在使用所述锥度角作为所述束倾斜角来处理所述衬底之前调整所述锥度角，所述调整基于所述第二切口线的侧壁的角。

8.根据权利要求5所述的方法，其中确定所述束倾斜角包括：

确定所述激光束的锥度角；及

使所述束倾斜角基于所述锥度角。

9.根据权利要求1所述的方法，其中在将所述激光束沿所述第一方向瞄准的同时将所述激光束施加到所述衬底的所述表面且沿所述第一切割方向进行切割包括：在沿所述第一方向从所述单个划刻线的开始进行切割直到到达所述单个划刻线的末尾为止的同时使所述激光束维持相对于从所述衬底的所述表面垂直延伸的所述线成所述束倾斜角，所述方法进一步包括：

在到达所述单个划刻线的所述末尾之后切换所述激光束的位置以将所述激光束沿所述第二方向瞄准所述衬底的所述表面；其中在将所述激光束沿所述第二方向瞄准的同时将所述激光束施加到所述衬底的所述表面且沿所述第一切割方向及所述第二切割方向中的一者进行切割包括：在沿所述第二方向从所述单个划刻线的所述末尾进行切割直到到达所述单个划刻线的所述开始为止的同时使所述激光束维持相对于从所述衬底的所述表面垂直延伸的所述线成所述束倾斜角。