[发明专利]用于微机电元件的数字控制

权利要求书

1.一种用于微机电元件（30）的控制电路（300），所述控制电路具有信号形状发生器（2）、调制器（3）和数字驱动器装置（4），所述信号形状发生器被设置用于生成用于所述微机电元件（30）的数字控制信号，所述调制器被设置用于对所述数字控制信号进行过采样、使所述数字控制信号经受噪声成形以及输出经过采样的且经噪声成形的数字控制信号，所述数字驱动器装置被设置用于以所述经过采样的且经噪声成形的数字控制信号驱动所述微机电元件（30）。

2.根据权利要求1所述的控制电路（300），其中，所述调制器（3）是Delta-Sigma调制器。

3.根据权利要求1或2所述的控制电路（300），其中，所述微机电元件（30）是电容式致动器、尤其是微镜致动器。

4.根据权利要求2所述的控制电路（300），其中，所述Delta-Sigma调制器的积分器可以在所述微机电元件（30）的谐振模式的频率上具有其传输函数的零位。

5.一种用于控制微机电元件（30）的方法（500），所述方法具有以下步骤：

提供具有位于所述微机电元件（30）的临界频率（ω_g）以下的信号频率的数字控制信号；

以大于所述临界频率（ω_g）两倍的采样频率对所述数字控制信号进行过采样；

通过将在所述过采样中形成的噪声移动到所述临界频率（ω_g）以上的频率区域（23b）中来噪声成形所述经过采样的数字控制信号；

以所述经过采样的数字控制信号驱动所述微机电元件（30）。

6.根据权利要求5所述的方法（500），其中，借助Delta-Sigma调制器实施所述过采样和所述噪声成形的步骤。

7.根据权利要求6所述的方法（500），其中，将所述Delta-Sigma调制器的积分器的传输函数的零位置于在所述临界频率（ω_g）以下的频率区域（23a）中所述微机电元件（30）的谐振模式的一个频率上。