[发明专利]氢氯化反应加热器及其相关方法

权利要求书

1.一种制备三氯硅烷的方法，包括：

使含有氢气的第一流与含有四氯化硅的第二流接触，以产生含有用四氯化硅饱和的氢气的气态反应物流；

将所述气态反应物流引入反应器中；以及

从所述反应器回收含有三氯硅烷、四氯化硅和氢气的产物流。

2.如权利要求1所述的方法，还包括加热第一流的至少一部分。

3.如权利要求2所述的方法，其中加热第一流的至少一部分包括用压力为从约5bar到约15bar的饱和蒸汽加热。

4.如权利要求1所述的方法，还包括在将所述气态反应物流引入反应器之前，将所述反应物流的至少一部分加热到从约175°C到约550°C的温度。

5.如权利要求1所述的方法，其中使第一流与第二流接触包括加热第一流和第二流中的至少一个的至少一部分。

6.如权利要求1所述的方法，还包括从所述产物流回收氢气的至少一部分并且使用回收氢气的至少一部分产生第一流。

7.一种提供反应物混合物的方法，包括：

提供气态的第一反应物；

提供液态反应物；

通过将至少汽化热提供到所述液态反应物的至少一部分使所述液态反应物汽化，以产生气态的第二反应物；

回收含有用所述气态的第二反应物饱和的气态的第一反应物的反应物混合物；以及

将所述反应物混合物的至少一部分引入反应器中。

8.如权利要求7所述的方法，还包括将所述反应物流加热到从约175°C到约550°C的温度。

9.如权利要求8所述的方法，还包括用饱和蒸汽增加所述气态的第一反应物的潜热。

10.如权利要求9所述的方法，其中第一反应物基本上由氢气构成，第二反应物含有四氯化硅。

11.如权利要求7所述的方法，其中在减少所述气态的第一反应物的潜热的同时进行提供至少汽化热。

12.一种反应器系统，包括：

接触器，所述接触器具有与气态的第一反应物的源流体连接的第一反应物进口、与液态的第二反应物的源流体连接的第二进口、反应物混合物出口和汽化区；以及

反应器，所述反应器具有与所述反应物混合物出口在下游流体连接的反应器进口和反应器产物出口。

13.如权利要求12所述的反应器系统，还包括热交换器，所述热交换器具有将所述反应物混合物出口与所述反应器进口流体连接的第一热侧面以及与所述反应器产物出口在下游流体连接的第二热侧面。

14.如权利要求12所述的反应器系统，还包括将所述反应物混合物出口与所述反应器进口流体连接的加热器。

15.如权利要求14所述的反应器系统，还包括被构造成把将被引入到所述反应器的反应物进口的反应物混合物的温度调节为从约500°C到约600°C的控制系统。