[发明专利]正型光致抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201180054437.8 | 申请日： | 2011-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN103210349A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 鹿毛孝和;今泉规史 | 申请（专利权）人： | DIC株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;C08G61/12 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 正型光致抗蚀剂 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种正型光致抗蚀剂组合物，其特征在于，其含有甲酚酚醛清漆树脂（A）和酚醛清漆型酚醛树脂（B），所述甲酚酚醛清漆树脂（A）是以间甲酚、对甲酚和甲醛为必需原料制造的，所述酚醛清漆型酚醛树脂（B）是以邻甲酚、间苯二酚和甲醛为必需原料制造的。
2.根据权利要求1所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，相对于1摩尔作为所述酚醛清漆型酚醛树脂（B）的原料的邻甲酚，间苯二酚的摩尔数为0.05～1摩尔的范围。
3.根据权利要求1或2所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，所述酚醛清漆型酚醛树脂（B）的重均分子量为500～4000的范围。
4.根据权利要求1～3中的任一项所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，所述酚醛清漆型酚醛树脂（B）是如下得到的树脂：在碱性催化剂存在下使邻甲酚和甲醛进行缩合反应得到甲阶型酚醛树脂（B’）后，中和该树脂（B’），然后加入间苯二酚和甲醛，在酸催化剂存在下进行缩合反应，从而得到。
5.根据权利要求1～4中的任一项所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，相对于100质量份所述酚醛清漆型酚醛树脂（A），以3～60质量份的范围含有所述酚醛清漆型酚醛树脂（B）。
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