[发明专利]具有基本平坦颗粒尖端的超研磨工具及其相关方法

权利要求书

1.一种化学机械研磨垫修整器，包括：

一第一单层超研磨颗粒，设置及耦合于一金属支撑层的一侧；以及

一第二单层超研磨颗粒，设置及耦合于该金属支撑层的第一单层的相对侧；其中，该第二单层超研磨颗粒位于与该第一单层超研磨颗粒具有基本相同分布的位置。

2.根据权利要求1所述的修整器，其中，该第一单层超研磨颗粒包括一成份，其选自由：金刚石材料、氮化物材料、陶瓷、或其组合所组成的群组。

3.根据权利要求1所述的修整器，其中，该第一单层超研磨颗粒为一金刚石材料。

4.根据权利要求1所述的修整器，其中，该第一单层超研磨颗粒为一立方氮化硼材料。

5.根据权利要求1所述的修整器，其中，该第二单层超研磨颗粒包括一成份，其选自由：金刚石材料、氮化物材料、陶瓷、或其组合所组成的群组。

6.根据权利要求1所述的修整器，其中，该第二单层超研磨颗粒为一金刚石材料。

7.根据权利要求1所述的修整器，其中，该第二单层超研磨颗粒为一立方氮化硼材料。

8.根据权利要求1所述的修整器，还包括一刚性支撑体，其耦合于相对该第一单层的该第二单层超研磨颗粒。

9.根据权利要求1所述的修整器，其中，至少一该第一单层超研磨颗粒或该第二单层超研磨颗粒利用一焊料合金耦合于该金属支撑层。

10.根据权利要求1所述的修整器，其中，该第一单层超研磨颗粒及该第二单层超研磨颗粒两者都利用一焊料合金耦合于该金属支撑层。

11.根据权利要求1所述的修整器，其中，该第二单层超研磨颗粒位于与该第一单层超研磨颗粒具有基本相同分布的位置。

12.一种化学机械研磨垫修整器的制作方法，包括：

设置一第一单层超研磨颗粒于一金属支撑层；

设置一第二单层超研磨颗粒于该金属支撑层的相对该第一单层的一侧；其中，该第二单层超研磨颗粒位于与该第一单层超研磨颗粒基本相同的分布的位置；以及

接合该第一单层超研磨颗粒及该第二单层超研磨颗粒于该金属支撑层，使在该第一单层及该第二单层间的对称作用力为基本相似的分布，以防止该金属支撑层实质上变形。

13.根据权利要求12所述的制作方法，其中，至少一该第一单层或该第二单层的接合为利用一焊料合金进行硬焊。

14.根据权利要求12所述的制作方法，其中，至少一该第一单层或该第二单层的接合在加热及加压下进行。

15.根据权利要求14所述的制作方法，其中，至少一该第一单层或该第二单层的接合还包括：

设置一烧结化合物于该金属支撑层上，并与至少一该第一单层或该第二单层接触；以及

烧结该烧结化合物，以接合至少一该第一单层或该第二单层于该金属支撑层。

16.根据权利要求15所述的制作方法，其还包括在接合过程中，以一硬焊材料熔渗入该烧结化合物。

17.根据权利要求15所述的制作方法，其中，至少一该第一单层或该第二单层直接地加热及加压以结合于该金属支撑层。

18.根据权利要求12所述的制作方法，其中，该第二单层超研磨颗粒位于对齐于该第一单层的该超研磨颗粒的位置。

19.根据权利要求12所述的制作方法，还包括耦合该第二单层超研磨颗粒于一刚性支撑体。

20.根据权利要求19所述的制作方法，其中，该第二单层超研磨颗粒耦合于该刚性支撑体，利用一选自由下述技术完成，如，热压、硬焊、烧结、焊锡、电镀、聚合物接合、及其组合所组成的群组。

21.根据权利要求19所述的制作方法，其中，该第二单层超研磨颗粒耦合于该刚性支撑体，利用聚合物接合完成。

22.一种减少化学机械研磨垫修整器在制造过程中变形的方法，包括：

在接合多个超研磨颗粒于一金属支撑层期间，在该金属支撑层的相对侧为基本上相等的变形作用力，其中，由于在相对侧的为相等的作用力，使接合期间在支撑层的变形减少。

23.根据权利要求22所述的方法，其中，基本上相等作用力的方式，其包括排列多个超研磨颗粒于该金属支撑层的相对侧，以使该多个超研磨颗粒在该支撑层的每一侧具有基本相同的分布，使接合期间具有基本上相等的变形作用力。