[发明专利]用于去除杂质的基于衬里的组件

说明书

技术领域

本发明涉及基于衬里的组件。本发明尤其涉及维持或提高存储在衬里中的内容物的纯度的基于衬里的组件。

背景技术

许多制造过程需要使用超纯液体，诸如酸、溶剂、碱、光致抗蚀剂、掺杂剂、无机的、有机的和生物的溶液、药物以及放射性化学品。这种应用需要超纯液体中的粒子的数目和尺寸被最小化。特别地，由于超纯液体使用在微电子制造过程的多个方面中，所以半导体制造商已经设立了严格的用于工艺化学品和化学操作设备的粒子浓度规格。需要这种规格，这是因为制造过程期间使用的液体应该包含高水平的粒子或泡沫，该粒子或泡沫可能沉积在硅的固体表面上。这能够反过来使产品失效并降低了质量和可靠性。

因此，这种超纯液体的存储、运送和分配需要能够为保持的液体提供足够保护的容器。通常用于工业中的两个类型的容器是由玻璃或塑料制成的简单的刚性壁容器和可折叠的基于衬里的容器。通常使用刚性壁容器，这是因为它们的物理强度、厚的壁、廉价的成本以及易于制造。然而，这种容器在压力分配液体时能够引入气液界面。这能够使气体溶解到容器中保持的的液体诸如光致抗蚀剂中，并且能够在分配系中的液体中造成产生不期望的颗粒和气泡。

此外，一次性使用塑料袋/衬里可以例如在生物制药工业中用于存储、输送、混合、反应等。包括衬里的材料能够以多种方式对衬里的内容物进行负面影响，例如：可滤取的和可提取的化学品可能从袋移动到内容物，从而造成受污染的材料；袋可以溶解到内容物中而使结构弱化；可能发生在袋的内容物和渗透入袋的气体(如氧气、水分、臭氧等)之间的化学反应；表面粘附可以限制输送的材料的量和/或引起内容物(如生物淤积)中的不希望的反应等。

因此，存在对于更好的衬里系统的需求，该衬里系统不仅可以维持衬里的内容物的纯度，还可以提高衬里的内容物的纯度。

发明内容

本发明的一个实施例涉及一种用于存储材料的衬里，该衬里包括至少两层，其中，与材料接触的层是活性层。可以通过将清除剂结合到如下的层中而使活性层有活性。衬里的至少一层可以包括聚合物或含氟聚合物。在一些实施例中，活性层可以被构造成用于去除光致抗蚀剂中的微桥接组分。在一些实施例中，可以通过以惰性材料诸如玻璃覆盖在如下的层的内部而使活性层有活性。在进一步的实施例中，衬里可以位于不锈钢罐内。

本发明的另一个实施例涉及一种用于存储材料的衬里，该衬里包括至少两层，其中，不与材料接触的层是活性层。可以通过将清除剂结合至如下的层中而使活性层有活性。衬里的至少一层可以包括聚合物或含氟聚合物。

本发明的又一实施例涉及一种基于衬里的组件，该基于衬里的组件包括用于存储材料的衬里、定位有衬里的外包装和位于衬里和外包装之间的净化包。净化包可以包括清除剂。衬里可以包括至少两层，其中，该层中的至少一层是活性层。

本发明的另一个实施例涉及一种基于衬里的组件，该基于衬里的组件包括用于存储危险气体的容器、定位有容器的衬里和位于容器和衬里之间的吸气剂。吸气剂可以包括可透气的包装，该可透气的包装含有能够吸引存储在容器中的气体或与该气体反应的材料。吸气剂可以还使一部分构造成在材料与来自容器的气体反应时改变颜色，从而表示气体已经从容器中泄漏。在一些实施例中，基于衬里的组件可以进一步包括外容器，衬里和钢筒位于该外容器内。吸气剂位于外容器与衬里之间。

虽然公开了多个实施例，但是对于本领域中的一般技术人员，根据示出和描述本发明的说明性实施例的下列详细描述，本发明的其它实施例会变得显而易见。会认识到的是，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，本发明的多个实施例能够在多个明显方面中变型。因此，附图和详细描述将被认为在本质上是说明性的而不是限制性的。

附图说明

说明书通过权利要求总结了并特别指出了和清楚地要求了被视为形成本发明的各个实施例的本主题，应认识到，根据结合附图的下列说明，会更好地理解本发明，在附图中：

图1示出了根据本发明的实施例使用的类型的衬里。

图2A示出了根据本发明的一个实施例的衬里的层的放大的局部视图。

图2B示出了根据本发明的一个实施例的衬里。

图2C示出了根据本发明的另一个实施例的衬里。

图3A示出了根据本发明的一个实施例的基于衬里的系统。

图3B示出了根据本发明的另一个实施例的基于衬里的系统。

图4示出了根据本发明的一个实施例的基于衬里的组件。

图5示出了根据本发明的另一个实施例的基于衬里的组件。