[发明专利]超疏水性膜构造

权利要求书

1.一种超疏水性膜，所述超疏水性膜包括：

具有多个微米结构的表面，其中所述微米结构各自包括多个纳米特征；和

所述微米结构和纳米特征都包含按重量计大部分是硅酮聚合物的材料；

其中所述膜具有至少150度的水接触角和小于10度的滚动角。

2.根据权利要求1所述的超疏水性膜，其中所述膜反射不到2％的入射光。

3.根据权利要求1所述的超疏水性膜，其中所述微米结构是棱柱。

4.根据权利要求3所述的超疏水性膜，其中所述棱柱具有约90度的峰角。

5.根据权利要求3所述的超疏水性膜，其中所述棱柱具有在约74度与约76度之间的峰角。

6.根据权利要求1所述的超疏水性膜，其中所述微米结构是微透镜。

7.根据权利要求1所述的超疏水性膜，其中所述膜具有小于5度的滚动角。

8.根据权利要求7所述的超疏水性膜，其中所述膜具有小于1度的滚动角。

9.根据权利要求1所述的超疏水性膜，其中所述膜具有至少160度的水接触角。

10.根据权利要求9所述的超疏水性膜，其中所述膜具有至少170度的水接触角。

11.根据权利要求1所述的超疏水性膜，其中所述硅酮聚合物是PDMS。

12.根据权利要求11述的超疏水性膜，其中所述微米结构和纳米特征包含至少95重量％的PDMS。

13.根据权利要求1所述的超疏水性膜，其中所述纳米特征是通过反应性离子蚀刻而形成于所述微米结构中。

14.根据权利要求13所述的超疏水性膜，其中所述微米结构是使用纳米粒子的蚀刻掩模，用反应性离子蚀刻的。

15.根据权利要求14所述的超疏水性膜，其中所述纳米粒子由金属氧化物构成。

16.根据权利要求15所述的超疏水性膜，其中所述金属氧化物是铟锡氧化物。

17.根据权利要求1所述的超疏水性膜，其中所述微米结构和纳米特征是通过复制工艺形成的。

18.根据权利要求1所述的超疏水性膜，其中所述微米结构具有在约0.15微米与约1000微米之间的平均高度。

19.根据权利要求1所述的超疏水性膜，其中所述纳米特征具有在约10nm与约1000nm之间的平均高度。

20.根据权利要求1所述的超疏水性膜，其中所述纳米特征具有在约5nm到约250nm之间的平均宽度。

21.根据权利要求1所述的超疏水性膜，其中所述纳米特征具有至少约4比1的平均纵横比。

22.根据权利要求21所述的超疏水性膜，其中所述纳米特征具有至少约6比1的平均纵横比。

23.根据权利要求1所述的超疏水性膜，其中所述微米结构是以模拟鲨鱼皮的图案成形并且布置的。

24.根据权利要求1所述的超疏水性膜，其中所述微米结构在三个维度中的至少一个中有变化。

25.根据权利要求1所述的超疏水性膜，其中所述微米结构和纳米特征未施加有任何低表面能涂层。

26.一种超疏水性制品，所述超疏水性制品包括根据权利要求1所述的超疏水性膜，和上面设置有所述超疏水性膜的基板。

27.根据权利要求1所述的超疏水性膜，其中所述膜在落砂暴露测试之后维持大于145度的水接触角和小于10度的滚动角。

28.根据权利要求27所述的超疏水性膜，其中所述膜在所述落砂暴露测试之后维持大于160度的水接触角和小于5度的滚动角。

29.根据权利要求1所述的超疏水性膜，其中相邻微米结构的平均峰至峰距离是所述微米结构的平均高度的约0倍与约5倍之间。