[发明专利]用于生产合成石英玻璃颗粒的方法

权利要求书

1. 用于通过将可流动的SiO₂粒料玻璃化来生产合成石英玻璃颗粒的方法，该方法包括以下方法步骤：

(a) 将热解生产的硅酸粒化，同时形成由多孔小粒（9）制成的SiO₂粒料，

(b) 干燥该SiO₂粒料，

(c) 通过在纯化炉中在含卤气氛中加热来纯化该SiO₂粒料，

(d) 通过在玻璃化炉中烧结来将纯化后的SiO₂粒料玻璃化，同时形成石英玻璃颗粒，

其中该SiO₂粒料的干燥、纯化和玻璃化分别在一个旋转管炉中的一个围绕中轴线（7）旋转的旋转管（6）中进行，其中用于进行玻璃化的旋转管炉具有一个旋转管（6），该旋转管至少在其内壁的部分长度上由作为未掺杂的石英玻璃的、软化温度较高的陶瓷材料组成，并且其中该旋转管（6）用贫氮的处理气体冲刷或者用该处理气体清洗，该处理气体包含至少30体积%的氦气和/或氢气。

2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据方法步骤 (b) 的粒料干燥是通过在空气下在200℃与600℃之间范围内的温度下加热来进行。

3. 根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，根据方法步骤 (c) 的在旋转管中的纯化是在含氯气氛下在900℃与1250℃之间范围内的温度下进行。

4. 根据以上权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在根据方法步骤 (d) 玻璃化时该处理气体包含至少50%、优选至少95%的氦气和/或氢气。

5. 根据以上权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在根据方法步骤 (d) 玻璃化时这些小粒(9)被加热到1300℃到1600℃范围内的温度。

6. 根据权利要求5所述的方法，其特征在于，这些小粒（9）经受震动。

7. 根据权利要求5或6所述的方法，其特征在于，这些小粒（9）的加热是借助于一个围绕该旋转管（6）的电阻加热装置（8）进行的。

8. 根据权利要求5至7中任一项所述的方法，其特征在于，该旋转管内壁由一种同时提高石英玻璃黏度的物质组成，优选由Al₂O₃、ZrO₂或Si₃N₄组成。

9. 根据权利要求8所述的方法，其特征在于，该旋转管内壁的物质具有小于0.5%的碱含量。

10. 根据权利要求8或9所述的方法，其特征在于，该旋转管内壁由合成制造的Al₂O₃组成。

11. 根据权利要求8至10中任一项所述的方法，其特征在于，在使用含Al₂O₃的旋转管的情况下，产生了在从1到20重量ppm范围内的对该石英玻璃颗粒的Al₂O₃掺杂。

12. 根据权利要求5至11中任一项所述的方法，其特征在于，该旋转管（6）完全由陶瓷组成。

13. 根据以上权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，这些小粒（9）具有在20与2000 μm之间、优选在100 μm与400 μm之间的中位粒径，即相应地D₅₀值。

14. 根据以上权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，这些小粒（9）具有窄的粒径分布，其中属于D₉₀值的粒径最多是属于D₁₀值粒径的两倍。

15. 根据权利要求1至14中任一项制造的石英玻璃颗粒用于制造石英玻璃坩埚的用途。