[发明专利]分光器中的倾斜修正方法

权利要求书

1.一种倾斜修正方法，是对分光器中的移动镜的反射光与固定镜的反射光的倾斜误差进行修正的倾斜修正方法，其特征在于，具有：

初始调整工序，该初始调整工序包括：在分光测定前对上述两反射光的初始倾斜误差进行检测并修正的粗调工序、和与上述粗调工序相比更细致地对上述初始倾斜误差进行检测并修正的微调工序；以及

动态校准工序，在分光测定中，对因上述移动镜的移动而产生的上述两反射光的倾斜误差进行检测并修正；

在上述粗调工序中，将激光分离成2份光并导向上述移动镜以及上述固定镜，将一边使上述移动镜移动一边由4分割传感器接收到上述移动镜的反射光与上述固定镜的反射光的干涉光时的各分割元件的输出相加来检测上述干涉光的对比度的变化，并且基于上述对比度的变化来检测上述两反射光的相对倾斜量，对上述初始倾斜误差进行修正，

在上述微调工序中，基于由上述4分割传感器接收到上述两反射光的干涉光时的各分割元件的输出的相位差，来检测上述两反射光的相对倾斜量以及倾斜方向，对上述初始倾斜误差进行修正。

2.根据权利要求1所述的倾斜修正方法，其特征在于，

在上述微调工序中，在按照往复移动上述移动镜的方式进行了驱动时的最大驱动振幅的1/10以下的移动范围内，检测上述两反射光的相对倾斜量以及倾斜方向，对上述初始倾斜误差进行修正。

3.根据权利要求1或2所述的倾斜修正方法，其特征在于，

在上述动态校准工序中，基于由上述4分割传感器接收到上述两反射光的干涉光时的各分割元件的输出，来检测上述两反射光的相对倾斜量以及倾斜方向，对因上述移动镜的移动而产生的上述两反射光的倾斜误差进行修正。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的倾斜修正方法，其特征在于，

分光测定中的上述移动镜的驱动为共振驱动。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的倾斜修正方法，其特征在于，

在上述初始调整工序以及上述动态校准工序中，通过对上述固定镜进行驱动来修正倾斜误差。

6.根据权利要求5所述的倾斜修正方法，其特征在于，

在上述初始调整工序以及上述动态校准工序中，通过上述固定镜的非共振驱动来修正倾斜误差。

7.根据权利要求6所述的倾斜修正方法，其特征在于，

上述固定镜通过压电元件的伸缩而被非共振驱动。

8.根据权利要求4所述的倾斜修正方法，其特征在于，

上述移动镜被使用了平行板簧的驱动机构共振驱动。

9.根据权利要求8所述的倾斜修正方法，其特征在于，

在构成上述平行板簧的2个板簧部的至少一方的表面形成有压电元件，

上述移动镜通过因上述压电元件的伸缩而引起的上述2个板簧部的共振被共振驱动。

10.根据权利要求8所述的倾斜修正方法，其特征在于，

对上述平行板簧配置有磁铁，线圈与上述磁铁分离配置，

通过对流入上述线圈的电流进行控制来使上述2个板簧部共振，从而共振驱动上述移动镜。