[发明专利]溅射用钛靶有效
| 申请号： | 201180051337.X | 申请日： | 2011-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN103180482A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 塚本志郎;牧野修仁;福世秀秋 | 申请（专利权）人： | 吉坤日矿日石金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 王海川;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 用钛靶 | ||
【权利要求书】：
1.一种溅射用钛靶，其特征在于，肖氏硬度为Hs20以上，并且基面取向率为70%以下。
2.如权利要求1所述的溅射用钛靶，其特征在于，除气体成分以外的钛的纯度为99.995质量%以上。
3.如权利要求1所述的溅射用钛靶，其特征在于，肖氏硬度为Hs25以上。
4.如权利要求1～3中任一项所述的溅射用钛靶，其特征在于，基面取向率为55%以下。
5.如权利要求1～4中任一项所述的溅射用钛靶，其特征在于，室温(23℃)下的拉伸试验的0.2%屈服强度为330N/mm2以上。
6.如权利要求1～5中任一项所述的溅射用钛靶，其特征在于，500℃下的拉伸试验的0.2%屈服强度为36N/mm2以上。
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