[发明专利]具有基于MEMS的光源的非接触式传感系统

权利要求书

1.一种用于获取三维轮廓信息的非接触式传感系统，包括：

光源子系统，所述光源子系统可操作以扫描照明区域中的光点;

第一成像设备，所述第一成像设备具有被布置成与所述照明区域相交的视场并且可操作以捕获图像数据;

第一控制模块，所述第一控制模块与所述第一成像设备进行数据通信，所述第一控制模块可操作以根据所捕获的图像数据确定所述第一成像设备的视场中的对象的位置并报告所述对象在公共坐标系中的位置;

第二成像设备，所述第二成像设备具有被布置成与所述照明区域相交的视场并且可操作以捕获图像数据；及

第二控制模块，所述第二控制模块与所述第二成像设备进行数据通信，所述第二控制模块可操作以根据所捕获的图像数据确定所述第二成像设备的视场中的对象的位置并报告所述对象在所述公共坐标系中的位置;其中，所述光源子系统被校准以报告所述光点在所述公共坐标系中的位置。

2.根据权利要求1所述的非接触式传感系统，其中所述第一控制模块接收来自所述光源子系统的所述光点的位置，并根据所述光点的位置和所述捕获的图像数据使用三角测量确定所述第一成像设备的视场中的所述对象的位置。

3.根据权利要求1所述的非接触式传感系统，其中所述光源子系统采用微机电系统MEMS致动的反射镜以定位所述光点并将由所述MEMS致动的反射镜报告的所述光点的位置变换到所述光点在所述公共坐标系中的位置。

4.根据权利要求1所述的非接触式传感系统，其中所述第一控制模块与所述光源子系统进行数据通信以控制在所述第一照明区域中的光平面的扫描。

5.根据权利要求1所述的非接触式传感系统，其中所述光源子系统还包括被布置成将光朝向微机电系统MEMS致动的反射镜投射的激光光源和被布置成将由所述MEMS致动的反射镜引导的光朝向所述照明区域反射的球面镜。

6.根据权利要求1所述的非接触式传感系统，其中所述第一成像设备的视场与所述第二成像设备的视场相交。

7.根据权利要求1所述的非接触式传感系统，其中所述第一成像设备、所述第一控制模块、所述第二成像设备、以及所述第二控制模块位于共同的壳体内。

8.根据权利要求7所述的非接触式传感系统，其中所述光源子系统位于所述共同的壳体内。

9.根据权利要求7所述的非接触式传感系统，其中所述光源子系统位于与所述共同的壳体不同且在空间上分开的壳体内。

10.一种用于获取三维轮廓信息的非接触传感器设备，包括：

第一光源子系统，所述第一光源子系统可操作以投射并扫描在第一照明区域中的光点，其中所述第一光源子系统使用微机电系统MEMS致动的反射镜扫描所述光点;

第一成像设备，所述第一成像设备具有被布置成与所述第一照明区域相交的视场并且可操作以捕获其中的图像数据;

第二光源子系统，所述第二光源子系统可操作以投射并扫描在与所述第一照明区域相邻的第二照明区域中的光点，其中所述第二光源子系统使用微机电系统MEMS致动的反射镜扫描所述光平面；及

第二成像设备，所述第二成像设备具有被布置成与所述第二照明区域相交的视场并且可操作以捕获其中的图像数据；其中，所述第一光源子系统、所述第一成像设备、所述第二光源子系统和所述第二成像设备位于所述设备的壳体内。

11.根据权利要求10所述的非接触式传感器，其中所述第一成像设备的视场与所述第二成像设备的视场相交。

12.根据权利要求10所述的非接触式传感器，其中所述第一光源子系统和所述第二光源子系统共同介于所述第一成像设备和所述第二成像设备之间，使得所述第一光源子系统位于所述第二成像设备和所述第二光源子系统之间且所述第二光源子系统位在所述第一成像设备和所述第一光源子系统之间。

13.根据权利要求10所述的非接触式传感器，还包括

第一控制模块，所述第一控制模块与所述第一光源子系统进行数据通信以控制在所述第一照明区域中的光平面的扫描并接收由所述第一光源子系统报告的所述光点的位置，及

第二控制模块，所述第二控制模块与所述第二光源子系统进行数据通信以控制在所述第二照明区域中的光平面的扫描并接收由所述第二光源子系统报告的所述光点的位置。