[发明专利]用于在冶金电重熔法中将电源网络干扰从电极信号中滤除的设备和方法无效
| 申请号: | 201180051021.0 | 申请日: | 2011-10-06 |
| 公开(公告)号: | CN103180683A | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
| 发明(设计)人: | 拉尔夫·厄勒;哈拉尔德·斯科尔茨;弗兰克-韦纳·霍夫曼 | 申请(专利权)人: | ALD真空工业股份公司 |
| 主分类号: | F27D11/10 | 分类号: | F27D11/10;F27D19/00;F27D21/00;C21C5/52;H05B7/144;H05B7/148 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张春水;田军锋 |
| 地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 冶金 电重熔法 中将 电源 网络 干扰 电极 信号 设备 方法 | ||
1.用于在冶金电重熔法中将电源网络干扰(84)从电极信号(82)中滤除的设备(40),尤其是用于熔炉(10)的电极距离闭环控制系统(48)的电极距离闭环控制,所述设备包括:至少一个电极传感器装置(44),所述电极传感器装置用于测量电极信号(82),尤其是电极(30)的电极电流和/或电极电压;网络传感器装置(46),所述网络传感器装置用于测量网络信号,尤其是网络电流和/或网络电压;和滤波装置(50),所述滤波装置用于将所述网络信号的网络干扰(84)从所述电极信号(82)中滤除,使得能够输出抑制网络干扰的电极信号(80)。
2.根据权利要求1所述的设备,其中所述滤波装置(50)包括至少一个频率滤波单元(52),所述频率滤波单元用于对所述电极信号(82)和/或所述网络信号的相关的信号范围进行频率滤波。
3.根据权利要求1或2所述的设备,其中所述滤波装置(50)包括至少一个适配单元(54)和减法单元(56),所述适配单元用于使所述网络信号和/或所述电极信号(82)相互适配,所述减法单元用于使相适配的信号相减。
4.根据上述权利要求之一所述的设备,其中所述滤波装置(50)包括相位检测单元(58)和存储单元(60),所述相位检测单元用于检测网络相位值,所述存储单元用于将所述电极信号(82)和/或所述网络信号的时间离散的与相位相关的采样值存储在多个相位存储位置(62)中。
5.根据权利要求4所述的设备,其中所述相位检测单元(58)包括网络相位识别机构(64),尤其是锁相环相位识别机构。
6.根据权利要求4或5之一所述的设备,其中所述相位检测单元(58)还包括多路复用器单元和分配器单元(66,68),其中所述多路复用器单元(66)能够将所述电极信号(82)的和/或所述网络信号的采样值分配给相位存储位置(62)并且所述分配器单元(68)能够以正确的相位关系读出相位存储位置(62)的采样值。
7.根据权利要求4至6之一所述的设备,其中所述滤波装置(50)还包括周期性分析单元(70),所述周期性分析单元用于对所述电极信号(82)中的周期性的网络干扰(84)进行分析,其中所述周期性分析单元(70)能够读出、改变和存储在所述存储单元(60)的所述相位存储位置(62)中存储的与相位相关的采样值。
8.根据权利要求7所述的设备,其中所述周期性分析单元(70)对相位存储位置(62)的可分配的采样值与所述相位存储位置(62)的之前存储的采样值以可调节的方式取平均值并且/或者与相邻的相位存储位置(62)的采样值以可调节的方式进行加权。
9.根据权利要求7或8之一所述的设备,其中所述周期性分析单元(70)能够以可适配的方式对所述多路复用器单元和分配器单元(66,68)的切换相位区间进行控制。
10.用于在冶金电重熔法中将电源网络干扰从电极信号(82)中滤波的方法,尤其是用于电极距离闭环控制并且优选地在使用根据上述权利要求之一所述的设备(40)的情况下,其中对尤其是电极(30)的电极电流和/或电极电压的电极信号(82)和尤其是网络电流和/或网络电压的网络信号进行测量,并且将所述网络信号的网络干扰(84)从所述电极信号(82)中滤除,使得能够输出抑制网络干扰的电极信号(80)。
11.根据权利要求10所述的方法,其中所述电极信号(82)和所述网络信号相互适配并且相减。
12.根据权利要求10或11所述的方法,其中以所述网络信号为基础识别网络相位并且存储所述电极信号(82)的与相位相关的采样值,使得以电极信号采样值为基础识别周期性的网络干扰(84)并且将其从所述电极信号(82)中去除。
13.根据权利要求12所述的方法,其中将所述采样值与之前的采样值取平均值并且/或者与相位相邻的采样值以可调节的方式加权,尤其是与相位和/或频率相关地加权。
14.根据权利要求12或13所述的方法,其中根据出现的信号变化对所述采样值的相位区间进行适合的适配。
15.根据权利要求12至14之一所述的方法,其中所述采样值的数量是可变的,尤其是适配于所述网络干扰的类型和范围和/或重熔过程的相位。
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