[发明专利]用于制备光伏晶片和磨料浆料的方法有效
申请号: | 201180048763.8 | 申请日: | 2011-10-05 |
公开(公告)号: | CN103201354A | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
发明(设计)人: | 莫汉·梅农;安妮·洛纳;埃里克·萨乌尔;斯蒂安·桑内斯 | 申请(专利权)人: | REC沃佛普特有限公司 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14;H01L31/00;B28D5/00 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 郭国清;穆德骏 |
地址: | 新加坡*** | 国省代码: | 新加坡;SG |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制备 晶片 磨料 浆料 方法 | ||
1.一种制备光伏晶片的方法,其中
-通过使用线锯将晶片从结晶光伏材料的块状体中锯出,其中通过线材连同磨料浆料一起提供锯切效果,所述磨料浆料包含磨料颗粒和载体和/或冷却剂流体,并且
-所述磨料浆料是通过将一部分回收的磨料浆料和一部分新的磨料浆料混合而制成的混合物,
其特征在于
-通过在所述混合物中加入碱而将所述磨料浆料混合物的pH调节为在6.0至9.0内,并且
-通过测量所述磨料浆料混合物的电导率控制磨料浆料混合物的离子含量,以及
-如果需要,通过在所述磨料浆料混合物中加入更多新的磨料浆料而将电导率产生的值调节至低于50μS/cm。
2.根据权利要求1所述的方法,其中调节混合的回收的磨料浆料、新的磨料浆料以及碱化合物的量以为所述磨料浆料提供如下的pH和离子含量,其为如下pH范围中的一种与如下磨料浆料电导率中的一种的任何可能的组合,所述pH范围为6.0至9.0;6.0至8.0;6.0至7.0;6.5至9.0;6.5至8.0;6.5至7.0;7.0至9.0;7.0至8.0;7.0至7.5;7.5至9.0;7.5至8.0;8.0至9.0;和8.0至8.5,所述电导率为低于50μS/cm;低于45μS/cm;低于40μS/cm;低于35μS/cm;低于30μS/cm;低于25μS/cm;和低于20μS/cm。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其中所用磨料浆料为具有游离磨料颗粒的极性有机液体。
4.根据权利要求3所述的方法,其中所述极性有机液体是如下液体中的一种或多种:聚乙二醇(PEG)、聚丙二醇(PPG)、多种聚亚烷基氧化物的共聚物、以及聚亚烷基二醇(PAG),和如下磨料颗粒中的一种或多种:氧化铝(刚玉)、碳化硅(SiC)、碳化硼(BC)和碳化镓(GC)。
5.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述的添加的碱化合物为碱金属或碱土金属的氢氧化物中的一种或多种,例如NaOH、KOH、LiOH、Ca(OH)2、Mg(OH)2。
6.根据权利要求1或2所述的方法,其中所用晶片为厚度在约100至约250μm范围内并且由Si或GaAs中的一种制成的单晶、微晶或者多晶。
7.用于光伏晶片线锯切的磨料浆料混合物,其中所述磨料浆料混合物包含:
-一部分回收的磨料浆料,
-一部分碱,以及
-一部分新的磨料浆料,其具有足够的量以在磨料浆料混合物中提供离子含量以提供低于50μS/cm的电导率,并在磨料浆料混合物中提供在6.0至9.0范围内的pH。
8.根据权利要求7所述的磨料浆料混合物,其中所述磨料浆料的pH和离子含量为如下pH范围中的一种与如下磨料浆料电导率中的一种的任何可能的组合,所述pH范围为6.0至9.0;6.0至8.0;6.0至7.0;6.5至9.0;6.5至8.0;6.5至7.0;7.0至9.0;7.0至8.0;7.0至7.5;7.5至9.0;7.5至8.0;8.0至9.0;和8.0至8.5,所述电导率低于50μS/cm;低于45μS/cm;低于40μS/cm;低于35μS/cm;低于30μS/cm;低于25μS/cm;和低于20μS/cm。
9.根据权利要求6或7所述的磨料浆料混合物,其中所用磨料浆料为具有游离磨料颗粒的极性有机液体。
10.根据权利要求9所述的磨料浆料混合物,其中
-所述极性有机液体是如下液体中的一种或多种:聚乙二醇(PEG)、聚丙二醇(PPG)、多种聚亚烷基氧化物的共聚物、以及聚亚烷基二醇(PAG),并且
-所述游离磨料颗粒是如下磨料颗粒中的一种或多种:氧化铝(刚玉)、碳化硅(SiC)、碳化硼(BC)和碳化镓(GC)。
11.根据权利要求6或7所述的磨料浆料混合物,其中
-所述磨料浆料为聚乙二醇200和粒度分布F800和/或F600的SiC颗粒
-所述碱来自10至500ppmw的KOH。
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