[发明专利]包括具有由立体有择多环2,3-二醇单体衍生的重复单元的聚碳酸酯的牺牲聚合物组合物

说明书

相关申请的交叉参考

本申请有权且要求2010年8月6日提交的序列号为61/371489和标题为″Sacrificial Polymer Compositions Including Polycarbonates Having Repeat Units Derived From Stereospecific Polycyclic2,3-Diol Monomers″的美国临时专利的优先权；以及2010年8月6日提交的序列号为61/371211和标题为″Polymer Composition for Microelectronic Assembly″的美国临时专利的优先权。这两个临时专利在此通过参考全文引入。

技术领域

根据本发明的实施方案一般地涉及包括具有由立体有择多环2,3-二醇单体衍生的重复单元的聚碳酸酯的牺牲聚合物组合物和使用这种组合物的方法，和更具体地涉及包括由立体有择降冰片烷-2,3-二醇单体衍生的重复单元的聚碳酸酯组合物和使用这种组合物的方法。

发明背景

包括聚碳酸酯，例如聚(碳酸亚丙酯)的牺牲聚合物组合物是已知的。典型地，可将这种牺牲聚合物组合物施加到基底上，构图并用非-牺牲材料罩面涂布(overcoat)。罩面涂布的构图牺牲聚合物组合物然后可暴露于足以引起牺牲聚合物分解和进一步引起分解产物穿过非牺牲罩面涂层的高温条件下，从而形成确定的密闭空间或气隙。

包括无环聚碳酸酯的牺牲聚合物组合物典型地玻璃化转变温度(T_g)值小于100℃，或者小于或等于50℃。这一低的T_g值通常伴随所需地构图牺牲聚合物组合物转化成气相时降低的温度和非所需地图案保真度的保持差的组合。图案保真度的保持差通常限制可使用照相平版印刷方法形成确定空间，例如封闭的微通道的程度。在封闭的微通道情况下，例如，图案保真度的保持差可导致具有低分辨率和/或非所需的截面形状的微通道。

美国专利No.4,950,736公开了由bicyclol多环二甲醇制备的聚碳酸酯。美国专利4,950,736专利没有公开或建议bicyclol多环二甲醇的立体化学。美国专利4,950,736专利的聚碳酸酯是以具有优良耐热性的形式被公开。

期望开发新型聚碳酸酯聚合物和含有这种新开发的聚碳酸酯聚合物的牺牲组合物，它们将提供所需性能的组合，例如大于或等于50℃的T_g值，构图的牺牲聚合物组合物转化成气相时的温度低，和改进的图案保真度的保持。另外，期望在牺牲聚合物组合物中的聚碳酸酯聚合物转化成气相之后，这种新开发的聚碳酸酯聚合物和牺牲组合物导致最小的残渣形成。进一步期望这种新开发的聚碳酸酯聚合物和牺牲组合物可用于临时粘结基底到彼此上。

附图说明

图1-3是根据本发明的聚碳酸酯聚合物和牺牲组合物的实施方案的热重分析的示意图，这将在TGA实施例A,B和C中进一步详细地描述。

具体实施方式

此处所使用的冠词“一个”，“一种”，和“该”(″a,″″an,″，″the″)包括多个指示物(referent)，除非另外特定且毫无疑义地限制到一个指示物上。

此处所使用的术语“光致产酸剂”和类似术语，例如“光-催化的产酸剂”和“光引发剂”是指在暴露于合适的“光化辐射线”下之后，生成一种或更多种酸，其中包括，但不限于质子酸的物质。

当在涉及化合物和/或代表性化学结构/化学式中使用时，此处所使用的术语“基团”或“基团(群)(groups)”是指一个或更多个原子的排列。

此处所使用的术语″降冰片烷-2,3-二醇″或″2,3-降冰片烷二醇″可互换使用，且是指根据任何一个化学式A,Al,B,Bl,C,C1,D,Dl,Dl′,E,El,El′,F,Fl,Fl′,G,D-DU-1和D-DU-2中的单体和重复单元二者。在根据本发明的一些实施方案中，例如2,3-降冰片烷二醇在两个羟基之间具有奇数个碳原子。

使用聚苯乙烯标准物，通过凝胶渗透色谱法测定此处所使用的聚合物的分子量值，例如重均分子量(M_w)和数均分子量(M_n)。

此处所使用的多分散性指数(PDI)值代表聚合物的重均分子量(M_w)与数均分子量(M_n)之比(即M_w/M_n)。