[发明专利]工业用机器人

说明书

技术领域

本发明涉及一种对半导体晶片等搬运对象物进行搬运的工业用机器人。

背景技术

以往，作为搬运半导体晶片等的工业用机器人，已知一种具有装置主体、臂、两个手部的工业用机器人(例如参照专利文献1)。在专利文献1所记载的工业用机器人中，臂的基端部以能旋转的方式安装于装置主体，两个手部的基端部以在上下方向上重叠的方式安装于臂的前端部。两个手部能相对于臂个别地旋转。另外，两个手部形成为大致相同的形状。具体而言，手部的基端侧部分形成为直线状，手部的前端侧部分形成为双叉状，手部整体形成为大致Y形状。另外，在该工业用机器人中，臂以与臂连接的手部的基端部直线状地进行动作的方式伸缩。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2008－135630号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在专利文献1所记载的工业用机器人中，两个手部能相对于臂个别地旋转，因此，能以在上下方向上重叠的方式配置两个手部，并且能以除了与臂连接的手部的基端部之外的其它部分在上下方向上不重叠的方式配置两个手部。因此，在该工业用机器人中，能从半导体晶片被收纳成在上下方向上重叠的收纳位置同时搬出两块半导体晶片或朝该收纳位置同时搬入两块半导体晶片，并且，能朝半导体晶片被配置成在上下方向上不重叠的作业位置同时搬入两块半导体晶片或从该作业位置同时搬出两块半导体晶片。

然而，有时在半导体晶片被配置成不重叠的作业位置与工业用机器人之间配置有闸门部，该闸门部形成有能供两块半导体晶片分别穿过的开口部。在作业位置与工业用机器人之间配置有闸门部的情况下，即便欲利用专利文献1所记载的工业用机器人来进行两块半导体晶片朝该作业位置的搬运，也可能存在形成为大致Y形状的手部的基端侧部分与开口部间的壁部干涉而无法搬运半导体晶片的情况。此处，若增大形成为直线状的手部的基端侧部分的长度，则能防止手部的基端侧部分与壁部的干涉，但若增大手部的基端侧部分的长度，则与臂一起相对于装置主体回旋的手部相对于装置主体的回旋半径会相应地增大。

因此，本发明的技术问题在于提供一种工业用机器人，其能将搬运对象物朝其被配置成在上下方向上重叠的第一配置位置搬运，并能将搬运对象物朝其被配置成在上下方向上不重叠的第二配置位置搬运，且即便在工业用机器人与第二配置位置之间配置有闸门部，也能减小手部相对于主体部的回旋半径，并能防止手部与闸门部的干涉。

解决技术问题所采用的技术方案

为解决上述技术问题，本发明的工业用机器人的特征是，包括：第一手部及第二手部，在该第一手部及第二手部上装载搬运对象物；臂，在该臂上以能旋转的方式安装有第一手部及第二手部；以及主体部，在该主体部上以能旋转的方式安装有臂的基端部，第一手部的基端部和第二手部的基端部以在上下方向上重叠的方式安装于臂的前端部，第一手部和第二手部能相对于臂个别地旋转，并从上下方向观察时能相对于臂以共同的旋转中心为中心进行旋转，而且，第一手部和第二手部从上下方向观察时弯曲，并从上下方向观察时相对于穿过旋转中心的规定的假想线呈大致线对称。

在本发明中，工业用机器人例如在第一手部的前端侧和第二手部的前端侧沿上下方向重叠的状态下，进行搬运对象物从其被配置成在上下方向上重叠的第一配置位置的搬出和/或搬运对象物朝第一配置位置的搬入，在第一手部的前端侧和第二手部的前端侧沿上下方向不重叠的状态下，进行搬运对象物从其被配置成在上下方向上不重叠的第二配置位置的搬出和/或搬运对象物朝第二配置位置的搬入。

在本发明的工业用机器人中，第一手部的基端部和第二手部的基端部以在上下方向上重叠的方式安装于臂的前端部。另外，第一手部和第二手部能相对于臂个别地旋转，且从上下方向观察时能相对于臂以共同的旋转中心为中心进行旋转。因此，通过以供搬运对象物装载的第一手部的前端侧和第二手部的前端侧在上下方向上重叠的方式配置两个手部(第一手部及第二手部)，能将搬运对象物朝其被配置成在上下方向上重叠的第一配置位置搬运，并且，通过以第一手部的前端侧和第二手部的前端侧在上下方向上不重叠的方式配置两个手部，能将搬运对象物朝其被配置成在上下方向上不重叠的第二配置位置搬运。