[发明专利]真空装置用照明器具

权利要求书

1.一种真空装置用照明器具，所述照明器具能被安装到用于观察真空装置的内部的观察窗，并且所述照明器具照亮所述真空装置的内部，其中，

所述照明器具包括：联接适配器，其经由联接单元被能装卸地联接到所述观察窗；开口，其形成于所述联接适配器的中央部，并且允许通过所述观察窗观察所述真空装置的内部；以及多个LED（发光二极管），其设置于所述联接适配器并且面对所述观察窗。

2.根据权利要求1所述的真空装置用照明器具，其特征在于，

所述联接适配器由周壁和环状的LED设置板形成，所述周壁沿着轴向延伸并且具有位于所述观察窗所在侧的前端部、位于所述前端部的相反侧的后端部以及位于所述前端部和所述后端部之间的中间部，所述LED设置板被固定到所述周壁的所述中间部处的内周面，并且所述LED设置板以围绕所述开口的方式沿着所述周壁的径向向内延伸，并且

所述多个LED被设置于所述LED设置板的相反面，所述相反面面对所述观察窗。

3.根据权利要求2所述的真空装置用照明器具，其特征在于，

所述多个LED沿所述LED设置板的相反面的周向等间隔地配置。

4.根据权利要求2或3所述的真空装置用照明器具，其特征在于，

用于漫射从所述LED照射的光的光漫射板被安装到所述联接适配器的周壁的在所述前端部和所述中间部处的内周面以及所述LED设置板的相反面的至少一方。

5.根据权利要求2或3所述的真空装置用照明器具，其特征在于，

用于反射从所述LED照射的光的光反射板被安装到所述联接适配器的周壁的在所述前端部和所述中间部的内周面以及所述LED设置板的相反面的至少一方。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的真空装置用照明器具，其特征在于，

所述照明器具包括：摄像装置，其被能装卸地设置于所述联接适配器的周壁的后端部并且用于拍摄所述真空装置的内部的图像；以及显示装置，其用于显示所述摄像装置所拍摄的图像。

7.根据权利要求6所述的真空装置用照明器具，其特征在于，

所述摄像装置为具有CCD图像传感器的CCD相机。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的真空装置用照明器具，其特征在于，

所述真空装置包括真空室和输送单元，所述输送单元被联接到所述真空室并且具有输送部，所述输送部用于将真空处理对象物输送到所述真空室的内部，

所述观察窗形成于所述真空室和所述输送单元中的至少所述真空室，以及

所述照明器具被设置于形成于所述真空室和所述输送单元中的至少所述真空室的观察窗。

9.根据权利要求8所述的真空装置用照明器具，其特征在于，

所述显示装置被设置于所述输送单元的输送部附近。