[发明专利]发光二极管芯片及其制造方法有效
申请号: | 201180043421.7 | 申请日: | 2011-08-11 |
公开(公告)号: | CN103098235A | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 卢茨·赫佩尔 | 申请(专利权)人: | 欧司朗光电半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/20;H01L33/38;H01L33/22;H01L33/44 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王萍;李春晖 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光二极管 芯片 及其 制造 方法 | ||
1.一种发光二极管芯片,包括:
-n导电区(1);
-p导电区(2);
-有源区(3),所述有源区(3)处于所述n导电区(1)与p导电区(2)之间;
-镜面层(4),所述镜面层(4)处于所述p导电区(2)的远离所述有源区(3)的那侧;以及
-绝缘层(5),所述绝缘层(5)被形成为具有电绝缘材料,其中
-所述镜面层(4)被设计成反射在所述有源区(3)中产生的电磁辐射;以及
-所述镜面层(4)具有穿孔(41),其中,所述镜面层(4)的侧面区域(4a)在所述穿孔(41)的区域中完全被所述绝缘层(5)覆盖。
2.根据前述权利要求所述的发光二极管芯片,
其中,所述镜面层(4)的其余外部区域没有所述绝缘层(5)。
3.根据前述权利要求所述的发光二极管芯片,
其中,所述绝缘层(5)能够通过正磷酸来蚀刻。
4.根据前述权利要求中任一项所述的发光二极管芯片,
其中,所述绝缘层(5)由无定形陶瓷材料构成。
5.根据前述权利要求中任一项所述的发光二极管芯片,
其中,所述绝缘层(5)被形成为具有无定形Al2O3或由无定形Al2O3构成。
6.根据前述权利要求中任一项所述的发光二极管芯片,
其中,所述穿孔(41)邻接开口(8),所述开口(8)延伸穿过所述p导电区(2)和所述有源区(3)、正好进入所述n导电区(1)中或远至所述n导电区(1)。
7.根据前述权利要求中任一项所述的发光二极管芯片,
其中,所述穿孔(41)和所述开口(8)填充有导电材料(6),其中,所述绝缘层(5)被布置在所述导电材料(6)与所述镜面层(4)之间。
8.根据前述权利要求中任一项所述的发光二极管芯片,包括
-辐射通过区域(102),所述辐射通过区域(102)由所述n导电区(1)的远离所述p导电区(2)的外部区域在一些地方形成,其中
-在所述辐射通过区域(102)下方实现用于在所述发光二极管芯片的操作期间使所述有源区(3)通电的电流分布。
9.根据前述权利要求中任一项所述的发光二极管芯片,
其中,所述镜面层(4)包含银或由银构成。
10.根据前述权利要求中任一项所述的发光二极管芯片,
其中,所述导电层(7)被布置在所述镜面层(4)的远离所述p导电区(2)的此外部区域,所述导电层在横向方向上突出超过所述镜面层(4)、所述n导电区(1)、所述p导电区(2)和所述有源区(3),其中,所述导电层(7)在其面向所述镜面层(4)的侧能够在一些地方被随意地接近。
11.根据前述权利要求中任一项所述的发光二极管芯片,
其中,所述导电材料(6)通过钝化层(12)以电绝缘的方式与所述导电层(7)分隔开,其中,所述钝化层(12)具有开口(12’),所述开口(12’)填充有所述导电材料(6)。
12.一种用于制造发光二极管芯片的方法,包括以下步骤:
-设置p掺杂层(2’);
-将镜面层(4)涂敷到所述p掺杂层(2’)的外部区域(21);
-通过在一些地方去除所述镜面层(4)而在一些地方露出所述p掺杂层(2’);
-将绝缘层(5)涂敷到没有所述镜面层(4)的区域中,其中,所述镜面层(4)在其远离所述p掺杂层(2’)的侧与所述绝缘层(5)齐平地终止,并且所述p掺杂层(2’)的侧面区域(2’a)直接邻接所述绝缘层(5);
-将承载体(9)涂敷在所述镜面层(4)的远离所述p掺杂层(2’)的那侧;以及
-在一些地方去除所述绝缘层(5),以在所述承载体(8)与所述p掺杂层(2’)之间产生中空凹槽(10)。
13.根据前述权利要求所述的方法,
其中,制造根据权利要求1至11中任一项所述的发光二极管芯片。
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