[发明专利]曝光装置、移动体装置、平板显示器的制造方法、及元件制造方法

权利要求书

1.一种扫描型的曝光装置，系在曝光处理时相对曝光用的能量束使曝光对象的物体在与水平面平行的第1方向以既定第1行程移动，其具备：

第1移动体，可于该第1方向至少以该既定第1行程移动；

第2移动体，引导该第1移动体于该第1方向的移动，且能于该水平面内在与该第1方向正交的第2方向与该第1移动体一起以第2行程移动；

物体保持构件，可保持该物体、与该第1移动体一起至少在与该水平面平行的方向移动；

重量消除装置，从下方支承该物体保持构件以消除该物体保持构件的重量；以及

支承构件，系延伸于该第1方向，从下方支承该重量消除装置并能在从下方支承有该重量消除装置的状态下，于该第2方向以该第2行程移动。

2.如权利要求1所述的曝光装置，其中，该第2移动体藉由含有设在既定固定构件的固定子、与设在该第2移动体的可动子的第1线性马达驱动于该第2方向；

该支承构件藉由含有该固定子、与设在该支承构件的可动子的第2线性马达驱动于该第2方向。

3.如权利要求2所述的曝光装置，其中，该支承构件对该固定子在振动上分离。

4.如权利要求1至3中任一权利要求所述的曝光装置，其中，该支承构件系以连接装置机械性地连结于该第2移动体，在该第2移动体移动时透过该连接装置被该第2移动体牵引而移动于该第2方向。

5.如权利要求4所述的曝光装置，其中，该连接装置的其它方向的刚性较该第2方向的刚性低。

6.如权利要求4或5所述的曝光装置，其中，该连接装置系在通过该支承构件的重心位置、与该第2方向平行的轴线上连接于该支承构件。

7.如权利要求1至3中任一权利要求所述的曝光装置，其中，该支承构件系被设于该第2移动体，并藉由与该支承构件点接触的复数个按压装置按压而移动于该第2方向。

8.如权利要求7所述的曝光装置，其中，在该移动体以既定行程移动于该第1方向时，该复数个按压装置从该支承构件分离。

9.如权利要求1至3中任一权利要求所述的曝光装置，其进一步具备从该支承构件及该第2移动体中的一方对另一方喷出的气体的静压气体轴承；

当该第2移动体移动于该第2方向时，该支承构件即透过该气体以非接触状态藉由该第2移动体按压而移动于该第2方向。

10.如权利要求1所述的曝光装置，其中，该支承构件具有第1磁石；

该第2移动体具有对该第1磁石于该第2方向对向设置、与该第1磁石在彼此对向部分的磁极相同的第2磁石；以及

当该第2移动体移动于该第2方向时，该支承构件即因在该第1及第2磁石间产生的斥力以非接触状态藉由该第2移动体按压而于该第2方向移动。

11.如权利要求1至10中任一权利要求所述的曝光装置，其进一步具备导件，此导件包含以机械方式导引该支承构件在该第2方向的移动的单轴导引装置的要件；以及

该导件对该第1及第2移动体在振动上分离。

12.如权利要求11所述的曝光装置，其中，该单轴导引装置在该第2方向以既定间隔设有复数个。

13.如权利要求11或12任一权利要求所述的曝光装置，其中，该导件系沿着该第2方向彼此分离配置复数个；以及

该支承构件系以延伸在该复数个导件上的方式来搭载。

14.如权利要求13所述的曝光装置，其中，于该复数个导件间配置有从下方支承该第2移动体的中间支承构件。

15.如权利要求11至14中任一权利要求所述的曝光装置，其中，该导件包含由中空构件组成的本体部、与设在该本体部内部用以提升该本体部的铅直方向刚性的补强构件。

16.如权利要求1至15中任一权利要求所述的曝光装置，其中，该支承构件系由其上面搭载该重量消除装置、其下面具有补强用的复数个肋条的肋构造的构件构成。

17.如权利要求1至15中任一权利要求所述的曝光装置，其中，该支承构件系由实心的石材构成。

18.如权利要求1至17中任一权利要求所述的曝光装置，其中，该重量消除装置系以非接触状态搭载在该支承构件上。