[发明专利]成像设备

权利要求书

1.一种成像设备，包括：

照明光学系统，包括光源并且被配置为将来自光源的光引导到目标；

成像光学系统，被配置为捕获目标的图像；以及

多个图像传感器，布置在成像光学系统的图像平面上，

其中照明光学系统包括多个积分器，

其中从所述多个积分器中的一个积分器射出的光照射所述多个图像传感器中的至少一个图像传感器，以及

其中从其它积分器射出的光照射所述多个图像传感器中的除由从所述多个积分器中的所述一个积分器射出的光照射的图像传感器以外的至少一个图像传感器。

2.根据权利要求1所述的成像设备，其中从所述多个积分器中的所述一个积分器发射的光和从其它积分器发射的光不在成像光学系统的图像平面上彼此交迭。

3.根据权利要求1所述的成像设备，其中所述多个积分器是多次执行内部反射的棒积分器。

4.根据权利要求3所述的成像设备，其中多个棒积分器形成多个离散照明区域。

5.根据权利要求4所述的成像设备，其中从棒积分器的每个出射表面发射的光分别照射所述多个图像传感器中的每一个图像传感器，以及

其中棒积分器的每个出射表面分别具有与通过从每个出射表面发射的光照射的多个图像传感器的形状中的每一个对应的形状。

6.根据权利要求1所述的成像设备，其中所述多个积分器由多个透镜阵列组成，并且通过柯勒照明系统形成离散照明区域。

7.根据权利要求6所述的成像设备，其中从多个透镜的每个照明区域发射的光分别照射多个图像传感器，以及

其中通过多个透镜阵列形成的每个照明区域分别具有与引导从多个照明区域发射的光的多个图像传感器的形状中的每一个形状对应的形状。

8.根据权利要求4所述的成像设备，其中光源将光分别地供应到通过多个积分器形成的多个离散照明区域。

9.根据权利要求8所述的成像设备，还包括：

测量单元，被配置为测量进入多个图像传感器的光的量；以及

控制单元，被配置为基于通过测量单元获得的测量结果来控制进入多个图像传感器中的每一个图像传感器的光的量。

10.根据权利要求9所述的成像设备，其中控制单元控制以使得进入多个图像传感器中的每一个图像传感器的光的量的变化减少。

11.根据权利要求9所述的成像设备，其中测量单元由图像传感器组成。

12.根据权利要求9所述的成像设备，其中测量单元由布置在与目标共轭的平面中的光测量设备组成。

13.根据权利要求1所述的成像设备，其中一个图像是通过在改变布置在待成像的目标上的对象与多个图像传感器之间的在与光轴正交的方向上的相对位置的情况下多次捕获对象的图像而获得的。